低温真空泵（又称低温泵、冷泵、冷凝泵）是一种利用低温冷凝和低温吸附原理抽气的容积式真空泵，是无油高真空环境获得设备。低温真空泵行业技术壁垒较高，我国相关生产企业少，因此市场一直被外资企业多占据，对外依存度高。
低温真空泵适合应用于要求洁净无油和/或快速抽气的场合，例如：真空排气设备、溅射镀膜设备、蒸发镀膜设备、离子注入设备、分子束外延设备，主要应用于半导体、光电、集成电路等领域。我国是全球主要的半导体、光电、集成电路等产品的生产基地，这些行业市场规模较大，且在国家政策的支持下都呈现出加速发展的态势。受这些行业发展的带动，低温真空泵行业市场增速保持在7.4%-8.8%之间，且增长速度在不断的加快。新思界发布的
《2017-2021年中国低温真空泵市场盈利预测及投资前景咨询报告》显示，2016年，中国低温真空泵行业的市场规模为11.17亿元。
尽管低温真空泵行业市场需求不断增加，但国内低温真空泵行业的自主供给能力依然较弱，仅有中国电子科技集团公司第十六研究所、浙江博开机电科技有限公司、上海优拓低温技术有限公司、上海连渠泵业有限公司等少数企业具备规模化生产的能力。2016年，中国低温真空泵行业的产量为432台，远远不能满足市场需求。因此中国，每年需要从国外进口大量的低温真空泵产品，2016年，中国低温真空泵进口量为6211台。
全球低温真空泵行业内的知名生产企业有法国Cryostar公司、美国布朗ACD公司、美国低温机械公司、瑞士Cryomec、美国福斯Flowserve、德国CTI、日电ANELVA公司、德国莱宝Leybold、住友重工的低温部门等，中国低温真空泵进口市场主要被这些企业所占据。
新思界
产业分析师认为，在国家政策支持下，我国低温真空泵生产企业将不断增多，我国低温真空泵技术将取得较大的进步，进口替代进程将会逐步加快。
