低温真空泵（又称低温泵、冷泵、冷凝泵）是一种利用低温冷凝和低温吸附原理抽气的容积式真空泵，是无油高真空环境获得设备。按照用途可以分为三类，分别是用于科学和一般工业应用的低温泵、用于半导体应用的低温泵，以及用于平板显示器应用的低温泵。其中主要应用领域是半导体和平板显示器行业。
目前，中国市场上低温泵企业有：住友重机械低温集团（sicera和Marathon APD品牌）、布鲁克斯自动化（CTI品牌）、佳能安耐华（Canon-Anelva）、爱发科低温泵株式会社（Ulvac Cryogenics Inc）、莱宝（Leybold）、Trillium（Austin Scientific品牌）、PHPK Technologies（CVI Torr Master品牌）、安徽万瑞（Vacree）、浙江博开等。
新思界产业研究中心发布的
《“十三五”期间中国低温真空泵行业分析及投资战略咨询报告》中显示：科研和一般工业用低温泵的主要用于薄膜镀层、磁性薄膜厂商、科研、航空科研等领域，近些年，这些行业对低温泵的需求不断增加。2018年中国低温泵（科学和一般工业用途）市场规模为1亿多元，市场份额占比较大的是住友重机械低温集团和安徽万瑞（Vacree）。
住友重机械低温技术（上海）有限公司作为住友重机械工业株式会社在中国的全资子公司，负责在中国国内，对住友重机械工业株式会社生产的小型低温制冷机以及低温泵产品进行销售、技术支持以及售后服务。其在中国市场中的市场份额第一，占比将近20%。
安徽万瑞冷电科技有限公司是一家专业从事低温制冷、低温真空设备、氦气回收、氦气纯化设备系统研发和生产的高新技术企业。公司成立于2003年，以中国电子科技集团公司第十六研究所原低温真空研发部门为主体改制组建而成，通过数年来持续地努力和提高，已成为本行业最具实力的企业之一。作为国内企业，安徽万瑞在中国市场中的市场份额排名前三。
另外，低温设备生产企业较多，能够提供低温设备服务的企业有两类：一类是生产企业，这些生产商仅向其自己品牌的设备提供服务，如，住友重机械低温集团（SHI Cryogenics）、安徽万瑞（Vacree）等；一类是中国本土市场存在大量独立服务商，通常是产品经销商或代理商，如，苏州美欧机电、上海伟务低温真空设备。总之，能够提供低温设备服务的企业很多。
新思界
行业研究员认为：由于低温真空泵行业技术壁垒较高，中国相关生产企业少，国际品牌市场份额占比较高。中国企业有安徽万瑞、浙江博开等企业技术比较成熟，产品占有一定的市场份额。随着中国生产企业技术的提升，市场占比或将进一步提升。
