MEMS传感器又称微机电系统，是指可以批量制作，并将微型传感器、微型机构、微型执行器以及控制电路和信息处理、通信和电源等集成于一块或数块芯片上的微型系统或器件，具有体积小、成本低、集成度高、性能稳定、耐用性好等优点。MEMS传感器分类标准较多，一般可分为MEMS气体流量传感器、MEMS压力传感器、MEMS非接触温度传感器等。
MEMS传感器下游涵盖了消费电子、汽车电子、医疗、可穿戴设备、城市建设等诸多领域，其中，消费电子和汽车电子是MEMS传感器主要应用领域，在我国市场份额占比接近60%。在消费电子领域，MEMS可以为智能手机提供声音性能、手势识别、场景切换等功能；在汽车电子领域，MEMS传感器可用于防滑系统、安全气囊系统、导航系统等方面。此外，MEMS传感器在医学领域可用于无创胎心检测、心脏搭桥移植及人工细胞组织等。
MEMS传感器实在微电子技术基础上发展起来，并融合了电子、材料、化学、物理学、医学、生物学等多学科交叉的前沿研究领域，其发展开辟了一个全新的技术和研究产业。我国MEMS传感器行业起步虽晚，但发展较快，政府部门对其也格外重视，近年来相继出台了多项政策，从技术研发、资金扶持、人才培养等多方面出发，大力支持MEMS传感器产业发展。
2015年7月，国务院出台了《国务院关于积极推进“互联网+”行动的指导意见》，提出：研究制定传感器发展战略，明确核心传感器阶段目标、重点任务和发展模式。2017年12月，工信部出台《促进新一代人工智能产业发展三年行动计划（2018-2020年）》，提出：在模拟仿真、设计、MEMS工艺、封装及个性化技术方面达到国际先进水平，具备在移动式可穿戴、互联网、汽车电子等重点领域的系统方案设计能力。在相关部门的大力支持、下游产业快速发展等的推动下，我国MEMS传感器行业迎来快速发展。根据新思界产业研究中心发布的
《2020-2025年中国MEMS传感器行业市场深度调研及发展前景预测报告》显示，2018年，我国MEMS传感器市场规模达到138亿元，较2017年增长了15个百分点。预计未来，全球电子整机制造产业加速向我国转移，国内MEMS传感器行业市场规模将继续保持快速增长趋势。
近年来，我国MEMS传感器产业发展迅速，行业内企业达到上百家，并产生了歌尔声学、汉威电子、金龙机电、水晶光电为代表的行业知名企业。然而目前，国内MEMS传感器生产企业规模普遍较小，产品结构较单一，且主要集中在中低端领域，附加价值较低。而在高端产品领域，国内企业尚未形成有效竞争力，高端产品严重依赖国际进口，博世、惠普、日本电装等占据了绝大部分高端市场份额。
新思界
行业分析人士表示，随着我国3C产品、汽车电子、可穿戴设备等产业快速发展，MEMS传感器具有广阔发展前景。由于我国MEMS传感器产业起步较晚，技术发展尚未成熟，专业人才相对匮乏，导致国内企业自主创新能力不强，产品创新力度不够，国际竞争力缺乏。我国应大力扶持MEMS产业，健全人才培养机制，积极培育民族品牌。同时，相关企业也应加大研发投入，推进产业创新，优化产品组合，积极从技术向国外引进吸收到自主创新转化，增强国际竞争力。
