泛半导体工艺排出的废气往往含有氟、氯、硅等元素，危害性大且处理难度高，需在生产区域配置适合气体特性的就地处理设备进行预处理，之后再排入中央治理系统。泛半导体工艺废气治理系统就是针对泛半导体生产工艺环节持续产生的复杂废气特性而设计生产或提供的产品解决方案。
泛半导体行业包括半导体照明（LED）、半导体显示（液晶）、半导体能源（光伏）、半导体集成电路（芯片）等四大领域。由于泛半导体生产过程中大量使用湿电子化学品和特殊气体，其会产生成分复杂的工艺废气。这些废气不仅会影响产能利用率和产品良率，还会对员工的健康和生态环境产生较大的危害及破坏，因此在泛半导体生产过程中安装废气治理系统非常必要。
另外，国家的环保政策越来越严格，全国污染源普查加大了工业环保普查的渗透深度和广度；中央环保督察范围越来越广，频次越来越高；排污许可制度改革细化了排污单位的法律责任；环保保护税的实施直接加大了对排污单位的处罚力度；同时，对废气排放的标准要求越来越高，一旦违背国家相关规定，企业不仅面临着行政处罚，而且还会停工停产。因此，泛半导体工艺废气治理系统的刚性需求越来越强，促使泛半导体工艺废气治理系统行业市场规模不断扩大。
此外，全球泛半导体产能逐步由欧美、日本、韩国、中国台湾向中国内地转移，中国泛半导体行业规模不断扩大，相应的环保投入需要不断增加。以上这些因素共同推动了中国泛半导体工艺废气治理系统行业需求规模的扩大。根据新思界发布的
《2020-2024年中国泛半导体工艺废气治理系统市场可行性研究报告》，2019年，中国泛半导体工艺废气治理系统行业市场规模为10.45亿元。
泛半导体工艺废气治理系统是一个技术密集型的行业，产品设计、生产涉及多种技术，且定制化程度高，要求技术人员必须具备丰富的经验及技术储备才能应对客户需求，因此泛半导体工艺废气治理系统行业内企业数量并不多，重点企业有上海盛剑环境系统科技股份有限公司、天和（上海）半导体制程排气工业有限公司、晃谊科技股份有限公司等。
新思界
产业分析师表示，随着下游泛半导体行业规模的持续扩大和环保政策的趋严，我国泛半导体工艺废气治理系统行业将保持快速增长态势。
