离子注入机是一种高压小型加速器，主要是由离子源、离子引出和质量分析器、加速管、扫描系统、工艺腔等几个成分组成，主要被应用在半导体、光伏领域，在晶圆加工中占比高达6%左右，受全球半导体以及光伏产业发展影响带动，离子注入机市场需求持续攀升。
离子注入机和光刻机、镀膜机、刻蚀机四大机械为半导体核心设备，开发难度仅次于光刻机，技术门槛较高，在早期离子注入机市场主要由美国企业主导，但近几年随着国内半导体产业快速发展，我国离子注入机生产技术不断攀升，本土企业市场占比也在不断扩大。
根据应用领域的不同，离子注入机又可分为IC离子注入机和光伏离子注入机，其中IC离子注入机市场需求更高，但该领域技术要求较高，目前市场主要被美国应用材料公司占据，该企业市场占比高达72%，其次是亚克士市场占比为18%。光伏离子注入机主要应用在太阳能电池制造，随着光伏产业的快速发展，近几年光伏离子注入机应用需求也随之攀升。当前在光伏离子注入机领域布局的企业主要有凯世通，intevac和日本真空。
根据新思界产业研究中心发布的
《2021年离子注入机行业发展现状及投资策略建议报告》显示，根据能量的高低，离子注入机可被分为低能离子注入机、高能离子注入机、中低束流离子注入机三种，主要区别在于注入计量范围和具体在工艺中的应用；按照束流来分，可分为小束流、中束流、强流、超强流四种类型离子注入机。目前全球中离子注入机仍旧以大束流离子注入机为主，该类机械市场占比高达60%，其次是中低束流离子注入机市场份额占比为21%。
就市场竞争方面来看，全球离子注入机企业主要集中在中国、日本、美国，其中美国几近垄断IC离子注入机市场，代表企业有应用材料、汉辰科技、Axcelis、intevac等；日本企业有日新、日本真空、住友重工等企业；中国有凯世通、中科信两家代表企业，其中凯世通在光伏离子注入机方面遥遥领先。
新思界
产业分析人士表示，受政府支持，以及我国半导体、光伏产业快速发展带动，离子注入机行业得到快速发展，市场需求攀升，未来发展潜力巨大。就目前来看，我国离子注入机市场布局较晚，当前生产技术水平相对落后，目前主要布局在光伏离子注入机领域，而IC离子注入机市场被外企几近垄断，未来国产化空间较大。
