在半导体生产中为了得到更好的品质，通常需要进行掺杂，目前掺杂的方式主要有高温热扩散法和离子注入法两种，其中离子注入法是主流。离子注入法能够精准控制剂量、掺杂更为均匀、产品纯度更高，因此在半导体生产中得到广泛应用，进而带动离子注入机市场需求攀升。
按照离子注入能量的高低进行分类，离子注入机可分为低能离子注入机、中能离子注入机、高能离子注入机和兆伏离子注入机；按照束流大小可被分为小束流离子注入机、中束流离子注入机、强流离子注入机和超强流离子注入机。由于芯片尺寸不断缩小，低能大束流离子注入机成为主流，市场占比约有56%，其次是中低束流离子注入机，占比为21%。
根据新思界产业研究中心发布的
《2021年离子注入机行业发展现状及投资策略建议报告》显示，当前离子注入机主要被应用在太阳能电池生产、集成电路、IGBT生产、AMOLED面板制造等领域。受益于全球以及我国半导体产业发展带动，在2019年全球离子注入机市场规模约为17亿美元。在2020年中国离子注入机市场规模为6.1亿元。
在全球中，离子注入机市场集中度较高，主要被应用材料、美国亚舍立公司、日本住友、日新公司、日本真空等美国和日本企业占据。国内生产离子注入机的企业主要有凯世通和中科信两家，且两家各有侧重，其中中科信主要掌握集成电路离子注入机的生产，而凯世通发力IC、IGBT、AMOLED领域。
就应用前景来看，离子注入机在太阳能电池领域应用前景较好。受益于双碳目标带动，我国新能源产业快速发展，太阳能电池产量呈现增长趋势，在2020年中国太阳能电池产量达到15728.6万千瓦，同比增长22.3%。除此之外，受益于半导体产业向中国转移，我国晶圆、AMOLED产量持续攀升，均利好离子注入机行业发展。
新思界
产业分析人士表示，离子注入机应用范围较广，受益于近几年国内晶圆、太阳能电池产业的发展，离子注入机应用需求攀升，行业发展前景较好。离子注入机产品具有众多类型，按照应用领域分，IC离子注入机技术更高，应用前景更好，而光伏离子注入机受益于光伏产业发展，市场需求也呈现增长趋势。在生产方面，当前全球以及我国离子注入机市场集中度较高，当前国内能够生产离子注入机的企业较少，但由于侧重点不同，竞争不激烈。
