电子束蒸发，是物理气相沉积（PVD）技术的一种，是一种重要的镀膜工艺。电子束蒸发是在真空条件下，利用高能电子束轰击源材料，使其加热蒸发气化后，再输运到基底，在基底表面凝结形成薄膜。电子束蒸发是传统电阻加热蒸发技术的升级工艺，解决了源材料与薄膜直接接触易互混的问题。
在电子束蒸发设备中，源材料被置于水冷坩埚中，可很大程度地降低源材料与坩埚壁发生反应的概率，从而保证薄膜质量；同一设备中可以安装多个坩埚，能够同时蒸发多种不同源材料；由于采用高能电子束对源材料进行轰击，电子束蒸发可将高熔点物质制造成薄膜。总的来看，电子束蒸发具有原材料选择范围宽、可制备高纯薄膜、制膜速度快、膜厚度可控等特点。
根据新思界产业研究中心发布的
《2022-2027年中国电子束蒸发行业市场深度调研及发展前景预测报告》显示，与电阻加热蒸发技术相比，电子束蒸发具有热效率高、蒸发速度快、薄膜质量高等优点；与真空溅射技术相比，电子束蒸发具有形成的薄膜基本不会覆盖到目标范围外的特点。因此，电子束蒸发是目前应用成熟的真空镀膜技术之一。电子束蒸发可以金属、合金、金属氧化物等作为源材料制备薄膜，例如铝、镍、铁、硅、氧化铝、二氧化硅、二氧化钛、二氧化锆、碲化镓等。
电子束蒸发可用来制造光学薄膜、热障涂层、耐磨涂层、耐腐蚀涂层、硬涂层等，广泛应用在半导体、电子、通信、光学仪器、工业设备、汽车、太阳能电池、航空航天、建材等领域。在下游行业不断发展壮大背景下，我国市场对电子束蒸发设备需求不断增长。2021年，我国PVD设备市场规模约为7.8亿元，预计未来5年仍将保持20%以上速度增长。电子束蒸发设备作为PVD设备的重要细分产品之一，市场规模也在不断扩大。
新思界
行业分析人士表示，在海外市场中，电子束蒸发设备相关生产商主要有美国应用材料（Applied Materials）、美国Semicore Equipment、美国那诺-马斯特（NANO-MASTER）、德国ALD Vacuum Technologies、德国scia Systems、丹麦Polyteknik AS、丹麦丹顿（Denton Vacuum）、日本光驰（Optorun）、日本Ferrotec、韩国Korea Vacuum等；在中国市场中，电子束蒸发设备相关生产商主要有中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司、沈阳鹏程真空技术有限责任公司、沈阳爱科斯科技有限公司、温州驰诚真空机械有限公司等。
