真空泵是指利用机械、物理、化学方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。根据气压不同，真空泵可分为低真空泵、中真空泵、高真空泵、超高真空泵；根据工作原理不同，可分为气体传输泵和气体粘合或捕集泵。由于真空泵直接作用于抽气的主要零件和端盖之间，无相对运动接触，因此其具有性能稳定、维护成本低、使用寿命长、抗蚀性好、耐磨性高、硬度强等特点，被广泛用于食品、医药、化工、电子、光伏、半导体等领域。
目前全球真空泵市场由欧洲、日本等国外企业占据领先地位，包括Atlas Copco、NASH佶缔纳士、Edwards、Leybold、Pfeiffer、EBARA荏原机械、Busch普旭等，其中2021年Atlas Copco、Pfeiffer、EBARA荏原机械三家企业占据约86%市场份额，行业集中度较高。
我国真空泵企业主要包括汉钟精机、沈阳科仪、中科仪、华成泵业、肯来福泵业等，本土企业在细分市场光伏真空泵领域占据领先地位。真空泵为光伏设备关键零部件之一，是光伏电池制造环节必备器件，近年来，在国内光伏装机量快速增加驱动下，光伏真空泵技术不断提升，水平已达到全球领先地位。根据新思界产业研究中心发布的
《2022-2026年中国真空泵行业投资潜力及发展前景研究报告》显示，从2021年全球光伏真空泵市场来看，本土企业汉钟精机占据接近75%市场份额，国产化程度较高。
同时，本土企业在细分市场干式真空泵领域发展潜力巨大。半导体是真空泵最大应用领域，其中干式真空泵是半导体各制程中必备通用设备，在单晶拉晶、Load-Lock、刻蚀、CVD、原子层沉积（ALD）、封装、测试等多个环节应用较为广泛。
近年来，在全球半导体产业链向中国大陆转移趋势下，我国干式真空泵市场需求不断攀升，进而拉动其技术不断升级、研发力度不断加大。本土企业汉钟精机、中科仪等逐渐打破了国外厂商在全球干式真空泵市场上的垄断地位，占据市场份额不断增加，2021年本土企业共计占据约6%市场份额。未来在本土企业不断突破关键技术背景下，干式真空泵行业发展潜力巨大。
新思界
产业分析人员表示，未来在国内半导体产业快速发展以及光伏装机容量不断扩大背景下，干式真空泵与光伏真空泵市场需求将不断增加，进而驱动其技术不断突破、产品不断升级，行业发展潜力巨大。未来在细分市场拉动下，国内真空泵市场规模将保持快速增长态势，进口替代步伐将不断加快，行业发展前景广阔。
