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导电原子力显微镜(CAFM)可实现纳米级测试 未来应用前景广阔

2022-08-17 18:40      责任编辑:王昭    来源:www.newsijie.com    点击:
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导电原子力显微镜(CAFM)可实现纳米级测试 未来应用前景广阔

  导电原子力显微镜(CAFM)是原子力显微镜(AFM)、扫描隧道显微镜(STM)相结合的一种显微分析技术。导电原子力显微镜解决了STM不能分析绝缘材料的问题,同时实现了对纳米级样品表面形貌和局部电学性质的测试。导电原子力显微镜是扫描探针显微镜(SPM)的升级,其具有空间分辨率高、可观察绝缘材料、应用范围更广等优势。

  根据新思界产业研究中心发布的《2022-2026年中国导电原子力显微镜(CAFM)行业市场供需现状及发展趋势预测报告》显示,随着技术进步,导电原子力显微镜已成功表征了介质薄膜的局部缺陷、应力诱导漏电流、负偏置温度不稳定性、电荷捕获与释放、电导率局部变化等纳米级现象,广泛应用在纳米电子学、半导体材料、纳米电容测量、介质特性分析等领域。

  半导体已成为全球显微镜第二大应用需求领域,根据美国半导体行业协会(SIA)数据显示,2021年,全球半导体出货量为1.15万亿颗,市场规模达到5559亿美元,创历史新高,同比增长26.2%。随着半导体产业发展,显微镜市场需求空间广阔,同时电子器件尺寸缩小、介电材料厚度缩减、纳米技术深入应用,将进一步带动高分辨率、技术先进的显微镜需求释放,导电原子力显微镜市场应用前景较好。

  导电原子力显微镜包括成像模式和谱模式两种工作模式,在常规成像模式中,导电探针尖端在样品区域内扫描,并向样品施加负偏压,进而收集样品隧穿到探针的电子;在谱模式中,导电探针尖端处于静止状态,通过扫描加在探针尖端与样品之间的电压,获得样品微小区域的I-U特性,进而提取局部电子特性信息。

  导电原子力显微镜是一种新型扫描探针显微镜,但随着研究不断深入,现阶段,导电原子力显微镜已实现商业化生产,国内导电原子力显微镜供应商有深圳宜特科技有限公司、湖南布鲁克等。整体来看,我国导电原子力显微镜企业核心竞争力较弱,多不具备与国际企业相竞争的能力。

  新思界行业分析人士表示,近年来,随着电子器件小型化发展、介电材料轻薄化发展,纳米级电学性质表征技术应用需求日渐释放,在此背景下,导电原子力显微镜市场将迎来广阔发展空间。我国导电原子力显微镜企业核心竞争力不足,未来企业在技术工艺、研发能力等方面仍需不断进步,以助推导电原子力显微镜产业结构升级。

关键字: 导电原子力显微镜 纳米测试