准分子激光器是以准分子作为工作物质的一类气体激光器。准分子激光器是目前紫外波段输出功率最大的激光器，工作介质是惰性气体、卤素气体和缓冲气体的混合物。准分子激光器具有脉宽窄、功率高、波长短、能量大、方向性强等特点，在眼科屈光校正、血栓消融、半导体光刻、平板显示、科研等领域应用广泛。
准分子激光器输出波长包括157nm、193nm、248nm、308nm等。准分子激光器兼具高脉冲能量、紫外波长输出的特点，可用于生产高精度产品，基于此，准分子激光器得到了广泛应用。如在半导体光刻领域，193nm ArF准分子激光器可应用于光刻10nm节点量产，193nm ArF准分子激光器可用于90nm及以下节点半导体量产；在面板显示领域，308nm XeCl准分子激光器可用于低温多晶硅退火；在医疗领域，193nm ArF准分子激光器可用于眼科屈光度校正术。
根据新思界产业研究中心发布的《
2023-2028年准分子激光器行业市场深度调研及投资前景预测分析报告》显示，准分子激光器市场发展时间较长，目前国内外均有较成熟的商用产品，生产企业主要有美国Coherent、荷兰ASML、日本Gigaphoton、德国ATL、俄罗斯Optosystem、深圳盛方科技、中山普宏光电、科益虹源等，其中美国Coherent是全球最大的准分子激光器生产商。
激光器类型多样，在需求升级背景下，准分子激光器也面临着来自其他激光器的激烈竞争，如固体激光器、光纤激光器。近几十年来，得益于准分子激光技术不断突破，准分子激光器性能实现较大提升，但仍存在体积大、结构复杂、维护成本高等问题，未来降低成本、提高可维护性及稳定性仍是准分子激光器发展方向。
在高端领域，准分子激光器市场仍由国外企业垄断，如高端光刻机所需的准分子激光器仅有美国Cymer（被荷兰ASML收购）和日本Gigaphoton两家企业具有供应能力。准分子激光器应用场景广泛，我国是显示面板、半导体生产大国，随着电子产品向节能、小型、高精度方向升级，市场对高端准分子激光器的需求将进一步释放，为保障供给安全，高端准分子激光器国产替代需求迫切。
新思界
行业分析人士表示，准分子激光器应用领域广泛，随着半导体集成度提升、显示技术发展，高端准分子激光器应用需求将增加。我国企业应在已掌握的核心技术基础上，持续优化完善生产工艺，打破国外技术垄断，同时建立质量管理体系，加大高性能、低成本准分子激光器供应能力，以满足市场升级需求。
