激光干涉仪是一种术以激光波长作为测量基准，测量精度可以达到亚纳米量级的测量仪器，主要有单频激光干涉仪和双频激光干涉仪两种。激光干涉仪具有测量精度高、范围广、速度快、分辨率高的优点，且抗干扰能力强，产品应用广泛，涵盖机械、精密加工、微电子、计量、天文等多个领域。
在机械制造领域，随着现代机械向高精度、智能化、高效率方向发展，激光干涉仪凭借着其先进性和优良的产品性能，在该领域快速发展。例如，使用激光干涉仪能够快速、准确、便捷地的获取和分析数控机床刀头的定位精度信息，为分析和改进数控机床的性能提供了可靠的依据。
在超精密加工领域，精密测量技术是影响超精密加工精度的一个重要因素，激光干涉仪的使用能够帮助超精密加工设备实现纳米级的闭环控制。
在微电子领域，随着微电子技术的不断发展，各类芯片对集成电路的集成度要求越来越高，而这与光刻机的套刻精度息息相关。激光干涉仪在光刻机中的应用主要是用于硅片台和掩模台的对准，实现对工作台的超精密运动控制，进而有效提高光刻机性能指标。
在计量领域，激光干涉仪不仅能够实现非接触测量，并且具有可溯源性，还能够实现纳米量级测量，能够有效提高应用产品的质量和经济效益。因此，国内外计量规范都以激光干涉仪作为量值溯源和量值传递的标准器具。
在天文学领域，高精度距离测量是空间科学与技术发展的一个标志性指标，激光干涉仪凭借其优势，可以用在天文望远镜的测试中，用于轴向面形误差测量。
由于激光干涉仪应用领域广泛，对于下游产业转型升级具有重要意义，因此改产品引起了广泛的关注，不少研究机构和企业开展了相关技术和产品研制。我国第一台双频激光干涉仪是由中国计量科学院和陕西机械学院联合研制而成，清华大学、哈尔滨工业大学等也开展了相关研发，部分关键性技术指标设置可以与国际先进水平相比。
新思界
产业研究中心发布的
《2023-2027年中国激光干涉仪产品市场分析可行性研究报告》指出，虽然我国激光干涉仪相关技术取得了长足进步，但总体来看，由于激光干涉仪具有较高的技术壁垒，很多技术研发成果还仅停留在研发阶段，并未真正商业化，现阶段实现该产品商业化的企业较少，且多集中在中低端领域，高档激光干涉检测仪等产品高度依赖进口，我国激光干涉仪仍然有较大的发展空间。
