陶瓷机械手臂简称陶瓷手臂、晶圆传输末端执行器，指用于输送半导体晶圆的机械手。与其他陶瓷机械手臂相比，陶瓷机械手臂具有耐磨损、耐高温、使用寿命长、防静电、不破坏工件等优势，在半导体领域拥有广阔应用前景。
陶瓷机械手臂主要原材料包括碳化硅陶瓷、氮化硅陶瓷、氧化铝陶瓷以及氧化锆陶瓷等。氧化铝陶瓷在陶瓷机械手臂生产过程中应用较多，其具有热膨胀系数小、硬度高、电绝缘性能好、机械强度高等优势。我国为氧化铝生产大国，氧化铝陶瓷产量长期保持增长趋势。受益于原材料供应充足，我国陶瓷机械手臂行业发展速度将进一步加快。
陶瓷机械手臂种类丰富。按照晶圆尺寸大小不同，陶瓷机械手臂可分为12"、8"、6"、4"以及2"等；按照工作方式不同，可分为真空吸附式、夹持式以及承载式等；按照原材料不同，可分为碳化硅陶瓷机械手臂、氮化硅陶瓷机械手臂、氧化铝陶瓷机械手臂以及氧化锆陶瓷机械手臂等。未来伴随研究深入、技术进步，真空吸附式陶瓷机械手臂将成为市场主流。
根据新思界产业研究中心发布的《
2023-2028年陶瓷机械手臂（陶瓷手臂）行业市场深度调研及投资前景预测分析报告》显示，半导体领域为陶瓷机械手臂最大需求端。近年来，我国政府对半导体行业发展高度重视，出台众多政策予以支持，带动大尺寸晶圆研发热情持续高涨。2022年我国12英寸晶圆产能达到近2000万片，创造历史新高。随着技术成熟度不断提升，预计到2026年我国12英寸晶圆产能将位居全球首位。陶瓷机械手臂主要用于输送半导体晶圆，伴随下游行业景气度提升，其市场需求将进一步增长。
我国陶瓷机械手臂代表企业包括河北中瓷电子科技股份有限公司、深圳方泰新材料技术有限公司、湖南圣瓷新材料有限公司等。中瓷电子专注于精密陶瓷零部件的研发、生产及销售，陶瓷机械手臂、陶瓷环、静电卡盘等为其主营产品。据中瓷电子企业年报显示，2022年公司实现营收13.1亿元。
新思界
行业分析人士表示，受益于半导体行业发展速度加快，陶瓷机械手臂作为输送晶圆的重要部件，市场需求不断增长。我国为陶瓷生产大国，原材料优势为行业发展奠定良好基础。未来伴随本土企业自主研发实力提升，我国陶瓷机械手臂产量及质量将进一步提高。
