超高纯压力表是一种能够对超高纯气体压力进行测量的仪器设备,具有精度高、可靠性好、安全性高、测量准确性高、使用寿命长等优点,广泛适用于半导体加工、面板清洁系统、高纯气体传输、高纯液体传输等场合,终端应用涉及半导体、光伏、电子、制药、生物、医疗等领域。
其中半导体是超高纯压力表主要应用市场。在半导体工业,超高纯压力表主要用于半导体用超高纯气体的压力测量场景。超高纯气体是半导体工业发展不可或缺的基础材料之一,主要种类包括氮气(用作通用清洗和惰性气体)、氩气(用作蚀刻和沉积反应中的等离子气体)、氦气(用作具有特殊热量的惰性气体)、氢气(有清洗、气相沉积以及键合三种用途)。
半导体工业用超高纯气体的关键指标之一为压力稳定,超高纯气体压力的稳定性对半导体设备的耐用性、稳定性、安全性有着直接影响作用,例如当超高纯气体压力过高时,超高纯气体储存设备及应用设备会出现开裂或爆炸危险。因此,为保证半导体工业生产的安全性,需对超高纯气体压力进行测量与检查,超高纯压力表即为实现这一测量过程的关键仪器。
但超高纯压力表技术壁垒较高,目前我国市场需求主要依赖于进口。德国威卡WIKA、美国捷锐GENTEC、美国雅斯科Ashcroft、美国布鲁克斯Brooks Instrumen、美国安捷科技Ametek、荷兰Badotherm等企业为我国超高纯压力表主要供货商。未来本土企业还需不断提升技术水平与引进先进技术,促进国内超高纯压力表市场国产化水平不断提升。
新思界
行业分析人士表示,超高纯压力表是一类用于测量超高纯气体压力值的仪器设备,在半导体、医疗、电子、生物等领域应用广泛,尤其是半导体领域。当前在国内半导体产业蓬勃发展带动下,超高纯压力表需求持续增加,但受技术限制,国内市场需求仍依赖于进口,市场国产化水平较低,未来超高纯压力表行业仍有巨大成长空间。