分子泵通常可分为涡轮分子泵、阻压泵以及复合分子泵。涡轮分子泵指利用高速旋转的动叶轮将动量传给气体分子,使气体产生定向流动而抽气的真空泵。涡轮分子泵具有维护便捷、启动快、耐大气冲击、无油污染、抽速大等优势,在金属冶炼、电子电气、医疗、光学仪器、航空航天等领域应用广泛。
磁悬浮涡轮分子泵为涡轮分子泵代表产品,指基于磁悬浮技术制成的涡轮分子泵。磁悬浮涡轮分子泵行业研究最早起步于日本及德国,上世纪八十年代,日本率先制造出内环式旋转磁悬浮涡轮分子泵,其综合性能优良且结构合理。在本土市场方面,经过多年发展,我国磁悬浮涡轮分子泵技术成熟度不断提升,本土企业已具备高性能产品自主研发及生产实力。
涡轮分子泵在金属冶炼、电子电气、医疗、光学仪器、航空航天等领域应用广泛。在冶金领域,涡轮分子泵可抽取金属溶液中的气体,能有效提升金属纯度;在电子电气领域,涡轮分子泵可用于离子注入机、光刻机、刻蚀机、薄膜沉积设备等半导体制造设备中;在医疗领域,涡轮分子泵能制造医药,还能用于负压吸引系统等医疗设备中;在航空航天领域,涡轮分子泵可用于飞机发动机系统。
根据新思界产业研究中心发布的《
2023-2028年涡轮分子泵行业市场深度调研及投资前景预测分析报告》显示,受益于应用范围不断扩展,涡轮分子泵行业发展速度加快。2022年全球涡轮分子泵市场规模达到97.6亿元,同比增长4.1%。在本土市场方面,随着国家对超高真空设备行业发展高度重视,我国高性能涡轮分子泵市场占比不断提升。目前我国已成为全球最大涡轮分子泵生产及消费国,占据全球市场近四成份额。
全球涡轮分子泵主要生产企业包括日本真空技术株式会社(ULVAC)、日本岛津公司(Shimadzu)、日本株式会社大阪真空机器制作所(Osaka Vacuum)等。与海外国家相比,我国涡轮分子泵行业起步较晚,但发展势头迅猛,中科科仪、泰岳恒真空设备、普发真空技术等为我国市场主要参与者。
新思界
行业分析人士表示,涡轮分子泵在众多领域应用广泛,行业发展前景较好。受益于下游需求日益旺盛以及本土企业自主研发实力提升,我国磁悬浮涡轮分子泵等高性能产品市场占比不断提高,这为涡轮分子泵行业发展提供有利条件。