远程等离子源（RPS）是一种利用电场或者磁场产生等离子体，并将等离子体传输到需要处理的表面区域的装置。远程等离子源具有表面均匀处理、热和化学损伤少、灵活、高效、精度高、使用寿命长等优势，通常在真空环境中用于表面处理、材料改性、腔室清洗、薄膜蚀刻、等离子辅助沉积等工艺，下游应用涉及到半导体、材料、新能源、环境科学、生物医药等多个领域。
根据新思界产业研究中心发布的《
2023-2027年中国远程等离子源（RPS）市场行情监测及未来发展前景研究报告》显示，近年来，得益于下游市场需求释放，全球远程等离子源市场规模处于不断扩张态势，2022年接近3.0亿美元，预计2023-2027年，全球远程等离子源市场规模仍将保持增长趋势，2027年将突破10.0亿美元。
得益于各国政策支持、研究投入增加，以及新一代信息技术深入应用，远程等离子源行业实现了快速发展，产品类型也日益丰富，包括远程等离子清洗机、高频等离子体源、分体式远程等离子体设备等。目前来看，远程等离子清洗机是市场主流产品，远程等离子清洗机可提供清洗、活化、改性等功能，具有效果稳定、应用范围广、成本低、绿色环保等优势，正成为各行业解决表面处理难题的首选。
受技术、研发等影响，全球范围内，欧美等发达国家在远程等离子源研究和应用处于领先水平，2022年欧美在全球远程等离子源市场的占比超过30%。近年来，我国远程等离子源市场发展速度较快，在全球市场的占比也不断提升，2022年达到17%左右。
远程等离子源市场集中度较高，相关企业主要有美国Advanced Energy、韩国NPP、美国MKS Instruments公司、美国PIE Scientific LLC公司等。美国Advanced Energy是工艺设备电源技术的领导者之一，2020年，美国Advanced Energy推出一系列全新的MAXstreamTM远程等离子源产品，MAXstream系列产品包括MAXstream 300、600、800、1000、1200等多个不同型号，气体流量分别为3、6、8、10、12公升/分钟，可满足不同客户应用需求。
新思界
行业分析人士表示，远程等离子源可用于表面处理、材料改性、薄膜蚀刻等，在半导体、生物医药、材料科学等领域应用广泛，随着下游市场需求释放，远程等离子源市场规模将进一步扩张，未来行业发展前景广阔。在技术迭代、研发投入增加、市场需求升级等因素驱动下，远程等离子源行业将不断向多功能化、多样化、智能化等方向升级。
