离子注入机是经过高压离子轰击把杂质引入硅片的设备，多用于晶圆制造流程中的注入（掺杂）工序当中，其功能是通过加入少量杂质使得原本导电性能较差的纯净硅转变为一种具有使用价值的半导体。相较于其他掺杂设备，离子注入机可以精确控制掺杂杂质的深度、数量和分布，对芯片内部结构器件的性能有重要影响。随着生产技术逐渐进步，离子注入机种类日益丰富，大致可分为高能离子注入机、低能大束流离子注入机、中低束流离子注入机等。
从市场结构来看，低能大束流离子注入机为离子注入机市场中的主流产品，市场占比达到61.8%；其次为中低束流离子注入机，市场占比为19.7%；高能离子注入机排名第三，市场占比为18.5%。
离子注入机作为一种半导体生产核心设备，在集成电路、IGBT制造、功率半导体、光伏电池、CMOS图像传感器等领域中获得广泛应用。随着人工智能、5G、物联网、大数据等信息技术逐渐推广应用，半导体行业迎来了快速发展期，芯片制造设备需求不断增长，带动离子注入机市场快速发展。
根据新思界产业研究中心发布的
《2023年离子注入机行业发展现状及投资策略建议报告》显示，近几年，全球芯片制程不断升级，芯片内部结构更加复杂，对离子注入机的性能要求逐渐提高，市场需求稳定增长。在此背景下，全球离子注入机市场规模逐渐扩大。2022年，全球离子注入机市场规模已经达到200亿元以上。
全球离子注入机市场集中度较高，头部企业已经显现。全球知名度较高的离子注入机生产企业主要为SMIT、亚舍立科技、应用材料、汉辰科技、intevac等。其中，应用材料凭借其生产技术先进、产品体系完善等优势，已经成为全球最大的离子注入机生产企业。
新思界
行业分析人士表示，现阶段，我国离子注入机市场几乎被国外企业垄断。虽然我国离子注入机企业在低束流离子注入机和低能大束流离子注入机等领域中获得一定突破，但整体生产技术与国外先进水平之间仍存在一定差距。目前，我国规模较大的离子注入机企业主要有中科信、凯世通等。随着我国企业不断发展、产品研发投入逐渐加大，未来我国离子注入机生产技术与国际先进水平的差距将逐步缩减，国产替代速度将逐渐加快。
