晶圆吸盘又称晶圆吸附盘，指在半导体制造过程中将晶圆吸附于固定盘，以便于加工的工件。晶圆吸盘需具备吸附作用力稳定、耐磨性好、使用寿命长、耐高/低温、耐腐蚀等特性，在离子注入、刻蚀、等离子增强化学气相沉积、物理气相沉积等工艺中应用较多。
晶圆吸盘种类丰富。按照性能及吸附原理不同，晶圆吸盘可分为静电吸盘、气压吸盘以及真空吸盘三种类型，其中静电吸盘为其代表产品。静电吸盘（ESC）又称静电卡盘，指利用静电吸附原理，对晶圆进行固定的吸盘，具有可调控吸附物温度、抑制变形等作用。在行业发展初期，受技术壁垒高等因素限制，我国静电吸盘高度依赖进口。近年来，在国家政策推动下，我国静电吸盘市场国产化进程有所加快，未来其行业发展前景将持续向好。
乙丙橡胶（EPDM）、氧化铝、氧化硅、氮化铝、黄铜等为晶圆吸盘主要原材料。氧化硅具有抗冲击、耐候性好、抗拉伸耐磨等优势，在晶圆吸盘生产过程中应用较多。经过多年发展，我国氧化硅生产技术不断进步，已成为全球主产国之一。2022年我国氧化硅产量达到381.6万吨，同比增长9.7%。原材料优势将为晶圆吸盘行业发展提供有利条件。
根据新思界产业研究中心发布的《
2023-2027年晶圆吸盘（晶圆吸附盘）行业深度市场调研及投资策略建议报告》显示，晶圆吸盘为晶圆加工重要耗材。随着全球半导体产业发展速度加快，晶圆产能得到快速扩张。2022年全球晶圆代工厂产能同比增长近15%，创造历史新高。我国为8寸晶圆生产大国，产能及产量连续多年位居全球领先地位。未来随着应用需求日益旺盛，我国晶圆吸盘行业发展速度将进一步加快。
全球晶圆吸盘市场主要集中于日本及欧美国家，代表企业包括日本神钢电机株式会社（SHINKO）、美国应用材料公司（Applied Materials）、美国泛林集团（Lam Research）等。在本土市场方面，目前我国企业已具备高性能晶圆吸盘研发及生产实力，代表企业包括华卓精科、海拓创新、中研股份等。
新思界
行业分析人士表示，晶圆吸盘在晶圆加工过程中应用较多，未来伴随下游行业发展速度加快，其市场空间将有所扩展。与海外发达国家相比，我国晶圆吸盘行业起步较晚，市场参与者较少。预计未来一段时间，随着本土企业自主研发实力提升以及应用需求日益旺盛，我国晶圆吸盘行业发展速度将有所加快。
