超洁净磁悬浮泵是指具有液体介质超洁净泵送功能的电动离心泵，其利用磁悬浮技术驱动并控制叶轮悬浮旋转，过流部件采用超洁净聚合物材料制造。超洁净是指泵过流部件污染物指标。
在结构组成上，超洁净磁悬浮泵由泵、电机、控制器系统组成，其中泵头包括泵体、带有永磁体的叶轮、泵盖等，电机包括定子铁芯、驱动绕组、悬浮绕组、传感器、壳体等，控制器系统包括控制器及其附属元器件。
超洁净磁悬浮泵具有高洁净度、无污染、无机械摩擦、高精度、长寿命等特点，可用于半导体设备、臭氧装备生物医药等领域。在半导体领域，超洁净磁悬浮泵可用于浸没式光刻机、晶圆清洗机、化学机械抛光机等半导体设备中，以输送化学药液；在生物医药领域，超洁净磁悬浮泵可用作血透仪中的磁悬浮血泵。
半导体高纯泵技术壁垒高，长期以来，全球市场主要被雅玛达（Yamada）、瑞士莱维通（Levitronix）、Trebor、白骑士（White Knight）等国外企业占据主导。但2022年以来，国际上半导体高纯泵出口管制要求趋严，供货周期加长、成本增加，供应链中断风险持续加剧。
根据新思界产业研究中心发布的
《2026-2030中国超洁净磁悬浮泵行业市场现状综合研究及投资前景预测报告》显示，随着先进制程向3nm、5nm推进，市场对超洁净、高压稳定的液体泵需求快速释放，磁悬浮泵凭借无接触、无摩擦、超洁净等优势，正成为高洁净环境的核心泵送方案。我国已实现超洁净磁悬浮泵自主研发和国产供应，有望加快实现半导体高纯泵国产化替代。
我国超洁净磁悬浮泵相关企业包括浙江启尔机电技术有限公司、苏州苏磁智能科技有限公司、宁波众杰同芯科技有限公司、槃实科技（深圳）有限公司、苏州华林科纳半导体设备技术有限公司等，其中宁波众杰同芯科技是国内第一家实现超洁净磁悬浮泵量产的企业，目前可为客户提供从30W-4000W的ARC系列超洁净磁悬浮泵。
新思界
行业分析人士表示，超洁净磁悬浮泵的标准化、规范化进程持续推进，相关标准包括中国机械工程学会发布的T/CMES 24019—2024《超洁净磁悬浮泵》、中国液压气动密封件工业协会发布的T/CHPSA YY003—2024《超洁净磁悬浮泵》、全国磁悬浮动力技术基础与应用标准化工作组归口的GB/T 47926—2026《半导体用磁悬浮自轴承洁净泵技术规范》等。
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