半导体用石英陶瓷是新型耐高温材料 可制备坩埚及半导体元器件

　　石英陶瓷属于无机非金属材料，是一种新型耐高温材料，拥有导热系数低、热膨胀系数小、热稳定性好特点，并且具有强度大、硬度大、耐磨、耐腐蚀、绝缘、抗热震等优点。应用在半导体领域的石英陶瓷纯度大于等于99.9%，可用来制备石英陶瓷坩埚、石英陶瓷器件等，即半导体用石英陶瓷。

 

　　半导体用石英陶瓷坩埚主要用于晶体硅熔炼、硅片生产方面。按照形状来看，半导体用石英陶瓷坩埚包括方形、圆形两大类。方形石英陶瓷坩埚主要用于多晶硅制备领域；圆形石英陶瓷坩埚主要用于单晶硅制备方面。随着光伏发电产业规模不断扩大、技术不断进步，太阳能电池用晶体硅需求量持续增加，使得市场对大尺寸、薄壁半导体用石英陶瓷坩埚需求不断增长。

 

　　半导体用石英陶瓷器件主要是温度控制元器件，例如热电偶、热电阻、温度传感器等。热电偶为常见仪器用测温元件，可直接测量温度获取信息；热电阻为中低温温度检测元件，测量精度高；温度传感器以热电偶、热电阻为传感元件，可探测温度并转换为可用输出信号。此外，半导体用石英陶瓷还可用作半导体元器件的支撑材料、高温高频电子元器件的封装/绝缘材料等。

 

　　根据新思界产业研究中心发布的《2024-2028年半导体用石英陶瓷行业深度市场调研及投资策略建议报告》显示，半导体用石英陶瓷制备是以熔融石英、石英玻璃为材料，粉碎后浇注成型，再经高温烧结工艺制得，后续可根据需求进行磨削、抛光处理，其中，成型工艺可以采用振动压力注浆成型、凝胶注模成型等方法。半导体用石英陶瓷对纯度、内在质量、表面缺陷、尺寸精度等要求严格。

 

　　2023年12月，国家发改委修订发布新版《产业结构调整指导目录（2024年本）》，于2024年2月1日正式实施，鼓励类项目中包括高纯石英原料（纯度大于等于99.999%）、半导体用高端石英坩埚、半导体用石英陶瓷器件（纯度大于等于99.9%）、化学气相合成石英玻璃等制造技术开发与生产。这将推动我国半导体用石英陶瓷行业进一步发展壮大。

 

　　新思界行业分析人士表示，苏州创新陶瓷有限公司是我国半导体用石英陶瓷生产企业之一，经营范围包括开发、生产、销售熔石英陶瓷、太阳能坩埚，可供应太阳能光伏产业用多晶硅铸锭方形石英陶瓷坩埚产品。

 

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