半色调掩膜版（Half-tone Mask，缩写为 HTM）是利用具有一定光学透过率的膜来实现部分透光功能的掩膜版，其作为先进的掩膜版材料，主要应用于TFT面板的生产。传统掩膜版在使用时对于特定波长的光只呈现透光与不透光两种效果。而半色调掩膜版（HTM）则是在玻璃基板上经过多次溅射沉积形成半透膜和遮光膜两个膜层，然后通过两次光刻制程形成包含全透光、完全不透光、和部分透光效果的图形结构，其图形精度的各项指标均高于传统掩膜版。
近年来，显示技术不断发展，柔性化、大尺寸、高精细、无边框成为显示技术的重要发展方向，传统掩膜版技术难以满足日益发展的显示面板工艺需求，具备更高精度及使用效率的半色调掩膜版受到下游显示面板厂商的青睐，国内主要显示面板厂商如华星光电、京东方、中电熊猫等G5/ G6/ G8.5/ G11等生产线上导入半色调掩膜版及相关工艺技术，促使中国半色调掩膜版市场呈现快速增长态势。未来，伴随着中国显示面板产业的发展及相关工艺的进步，中国半色调掩膜版市场规模将继续扩大，据新思界发布的《
2022-2027年中国半色调掩膜版行业市场深度调研及发展前景预测报告》显示，预计2025年，中国半色调掩膜版市场需求将达到千万元级别。
半色调掩膜版属于高技术行业，加之其用途单一，市场容量相对有限，导致该行业处于垄断竞争之中，全球仅有日本、韩国的数家企业具备产品研发及生产能力。近年来，随着中国显示面板行业的发展，其各类掩膜版需求急剧上升，特别是面板行业的高端化发展，使得主流面板厂商不但寻求品质更高、工艺技术更为先进的掩膜版，半色调掩膜版作为新兴的具备独特工艺优势的掩膜版产品，其受到国内各大面板厂商的关注。以路维光电为代表的本土掩膜版企业为满足面板厂商需求，加大技术研发投入，在国内首先成功开发出半色调掩膜版。目前，路维光电拥有G2.5-G11 的半色调掩膜版生产能力，产品已经进入京东方、中电熊猫等供应体系。
新思界
分析人士认为，在国家政策的推动及市场需求刺激下，中国显示面板各大工艺环节积极推进国产替代。半色调掩膜版作为未来显示掩膜版的重要发展方向，其国产替代已是大势所趋，以路维光电为代表的中国本土掩膜版行业将从中受益。
