硅基OLED又称Micro OLED，是以单晶硅作为驱动背板而制作的集成式驱动背板OLED显示器件，硅基OLED主要应用于近眼式显示和投影显示系统，具有分辨率高、刷新率高、体积小、对比度高、功耗低、性能稳定等特点。
硅基OLED可与各种穿戴设备集成，通过光学系统放大微型显示器上的图像，在观看者眼中呈现大屏幕图像，实现VR、AR等智能可穿戴设备不同效果。根据新思界产业研究中心发布的
《2022-2027年中国硅基OLED行业应用市场需求及开拓机会研究报告》显示，2017-2021年，中国硅基OLED行业市场规模保持快速增长趋势。未来，随着5G技术的全面普及，硅基OLED在沉浸式娱乐、教育、医疗等行业将有望得到较大发展，行业市场规模有望进一步扩张。
技术方面，硅基OLED具体的工艺流程可以分为5个部分：驱动背板制作：通过半导体工艺制作硅基OLED所需的CMOS背板，再运用物理气相沉积、化学气相沉积、黄光曝光显影工艺、刻蚀工艺等工艺制作阳极反射层和阳极限定层。蒸镀工艺：主要包括基板清洗、有机材料蒸镀以及阴极材料蒸镀。封装工艺：首先通过PECVD和ALD设备制作硅基 OLED 薄膜封装；再通过黄光旋涂有机彩色滤光材料，进行曝光显影制作硅基 OLED 所需的三基色（R、G、B）图形，完成彩色化工艺。屏体工艺：主要包括屏体大片的切割、清洗，以及电测与外观检测等步骤，检验合格后入库。模组工艺：通过清洗、点胶贴合、切割、外观检测、邦定、涂胶、外观检测和测试老练，合格后包装入库。
企业方面，硅基OLED行业技术和资金壁垒较高，行业内企业主要有eMagin公司、MICROOLED公司、SONY公司、Kopin公司、奥雷德、国兆光电、创视界光电、合肥视涯等几家企业，其中SONY凭借其在消费电子领域的优势地位推出了用于自身品牌的EVF及HMD，而eMagin、MICROOLED、奥雷德、国兆光电等在军事领域占有一席之地，满足军工市场瞄准、观察系统需求。
新思界
产业研究员认为，硅基OLED属于平板显示行业的前沿领域，由于技术难度高（存在“微型显示器亮度低”、“可靠性差”、“易出现光串扰现象”三种瓶颈）、工艺复杂（工艺流程繁琐）、实现高良率量产耗时较长，且面临着与同行业其他企业的市场竞争，所以硅基OLED行业新进入企业数量和新建项目较少，现有项目和改扩建项目主要为原有企业产能扩张。
