真空计，又名真空表，是指一种用于测量真空度与气压值的仪器设备。真空计种类多样，根据测量精度不同，其可分为绝对真空计、相对真空计；根据测量原理不同，其可分为以力学性能为工作原理的波尔登规真空计、薄膜电容规真空计等；以气体动力学效应为工作原理的热电偶规真空计、皮拉尼电阻规真空计等；以带电粒子效应为工作原理的热阴极电离规真空计、冷阴极电离规真空计等。
从细分市场来看，电容薄膜规真空计是指一类通过金属膜片和电极之间电容变化量来测量气压值的仪器，其具有灵敏度高、可靠性强、再现性与重复性好、预热速度快等特点，主要应用于CVD（化学气相沉积）、PVD（物理气相沉积）、ALD（原子层沉积）半导体设备制造领域以及太阳能电池片PECVD工序环节。当前在国内半导体、光伏产业快速发展带动下，电容薄膜规真空计市场需求不断增加，规模不断扩大。2021年我国电容薄膜规真空计市场规模已达1.2亿元，同比增长8.9%。
皮拉尼电阻规真空计，又称电阻式真空计，是一类通过热丝电阻大小来测量气压值的仪器，具有测量准确度高、功耗低、测量范围大等特点，主要应用于半导体、化工、微电子、电子束焊接、真空冶金等领域。其中半导体设备领域是皮拉尼电阻规真空计最大应用领域，2021年该领域用皮拉尼电阻规真空计市场规模为5089.6万元，同比增长6.1%。
总体来看，目前国内电容薄膜规真空计与皮拉尼电阻规真空计市场规模均呈现出持续增长态势。因此，未来在细分市场稳步发展背景下，国内真空计市场规模有望不断扩大。根据新思界产业研究中心发布的
《2022-2026年中国真空计行业市场行情监测及未来发展前景研究报告》显示，2021年国内真空计市场总规模已达7.5亿元，预计到2025年其市场规模有望增长至10.8亿元，行业发展前景广阔。
新思界
产业分析人员表示，真空计国际企业主要有德国英福康Inficon、美国MKS、瑞典Atlas集团、日本Canon Anelva、美国泰利达Teledyne、德国普发真空Pfeiffer Vacuum、美国agilent安捷伦等；本土企业主要有金华杰真空、云捷真空仪器、中科科仪、国光电气、歌博科技、南光机器、天康集团等。
