光场匀化器指能把单模或多模的准直输入光束,转换为能量分布高度均匀光斑的光学元器件。光场匀化器具有能保证光斑均匀性、能量利用率高等特点,在半导体光刻以及激光雷达等领域应用广泛。光场匀化器种类丰富,不均匀度小于1%的光场匀化器为市场主流产品。
在激光雷达领域,光场匀化器主要用于激光雷达发射模组中,高精度短距离激光雷达为其终端产品。激光雷达对分辨率、发光功率要求极高,光场匀化器能够满足激光雷达光束视场角扩大、光场强度均匀化等需求。激光雷达在汽车制造、航空航天等领域应用较多,近年来,我国激光雷达市场呈爆发式速度增长,带动光场匀化器行业发展空间进一步扩大。
根据新思界产业研究中心发布的《
2023-2028年光场匀化器行业市场深度调研及投资前景预测分析报告》显示,在半导体光刻领域,光场匀化器可将光刻用准分子激光匀化在硅片上,为半导体光刻机曝光系统的核心激光光学元器件。光刻机行业技术壁垒较高,我国需求高度依赖进口。近年来,受益于国家政策支持以及本土企业自主研发实力提升,我国光刻机国产化进程不断加快。在此背景下,我国光刻用光场匀化器市场需求日益旺盛。
光场匀化器原材料包括玻璃、熔融石英、塑料等。玻璃为光场匀化器主要原材料,在生产过程中可采用激光光学制造技术对玻璃进行加工,进而制得成品。光场匀化器技术壁垒较高,我国具备其生产能力的企业较少。未来伴随技术成熟度提升,我国光场匀化器行业发展速度将进一步加快。
光场匀化器行业集中度较高,炬光科技为我国龙头企业。炬光科技专注于高功率半导体激光元器件和激光光学元器件的研发、生产及销售,近年来在技术创新推动下,炬光科技生产的光刻用光场匀化器质量不断提升,目前公司产品已远销至日本、荷兰、德国等光刻机生产大国。据炬光科技企业财报显示,2022年上半年公司光场匀化器营收同比增长88.6%。
新思界
行业分析人士表示,光场匀化器作为重要光学元器件,在高新技术领域需求旺盛,随着半导体行业发展速度加快,光场匀化器市场空间将获得进一步扩展。我国光场匀化器行业集中度较高,炬光科技作为我国龙头企业,技术水平不断提高,伴随本土企业持续发力,我国国产光场匀化器市场占比将进一步提升。