谐振压力传感器,又称频率式传感器,是指一种利用谐振元件把被测压力转换成频率信号的设备,主要由谐振器、质量块、支撑座、压电陶瓷等部分构成,属于压力传感器的细分品类之一。谐振压力传感器工作原理为在压力作用下,质量块、支撑座的位置和压电陶瓷片的强度发生改变,从而使谐振器固有频率发生改变,再通过计算谐振频率变化量来确定压力大小的过程。
根据工作原理不同,谐振压力传感器可分为机械式谐振压力传感器、原子式谐振压力传感器、电式谐振压力传感器。其中机械式谐振压力传感器是目前谐振压力传感器市场应用最广、发展最快的一类产品,其核心元件为振子。根据振子结构不同,机械式谐振压力传感器还可细分为振弦式、振梁式、振膜式、振筒式机械谐振压力传感器等;根据振子材料不同,其还可细分为金属、硅微、石英晶体机械谐振压力传感器等。
全球范围内,布局谐振压力传感器市场的企业主要有英国德鲁克、日本横河电机、德国博世、德国西门子、美国Paroscientific、美国霍尼韦尔等国际企业以及西安思微传感科技、西安高科电气科技、西安励德微系统科技、深圳五湖智联实业、深圳华科电子、无锡莱斯能特科技、嘉兴恩湃电子、重庆宸硕测控技术、成都奥森泰科技、山东中科思尔科技等。
谐振压力传感器技术壁垒较高,目前全球高端市场仍由起步时间较早的国际领先企业占据主导,我国企业主要集中在中低端市场。但近年来,在本土企业不断积累先进经验与提升技术水平背景下,我国谐振压力传感器研发进程持续加快,先进成果不断涌现。
例如,中电科研发出高精度谐振压力传感器,可用于战斗机的飞行大气参数监测系统;西安思微传感科技研发出高精度硅谐振压力传感器,可用于地面压力控制器、航空大气数据测量系统、气象测量设备,此外,国内还有嘉兴恩湃电子、成都凯天电子等企业有相关高精度谐振压力传感器产品问世。新思界
行业分析人士表示,目前我国谐振压力传感器产品正朝高精度方向不断升级,本土企业正加快进军全球高端市场,未来行业发展潜力巨大。