MEMS微振镜，又称MEMS扫描镜，是指基于光学微电子机械系统（MEMS，Micro-Electro-Mechanical System）技术制备而成的一种微小可驱动反射镜，属于光学MEMS器件之一。MEMS微振镜作用原理为通过控制微小的镜面平动和扭转往复运动，将激光管反射到不同角度完成扫描的过程。
MEMS微振镜种类多样，根据工作原理不同，其可分为反射、折射、衍射MEMS微振镜等；根据驱动原理不同，其可分为压电驱动、静电驱动、电磁驱动、电热驱动MEMS微振镜等；根据工作方式不同，其可分为谐振态、准静态MEMS微振镜等。
MEMS微振镜集微光发射镜与MEMS驱动器为一体，具有体积小、功耗低、寿命长、重量轻、可靠性高、成本低、准确度高等优点，在汽车激光雷达、微投影仪、HUD（平视显示系统）、3D相机、AR器件等高技术产品制造领域应用前景广阔。
根据新思界产业研究中心发布的
《2023-2028年MEMS微振镜行业市场深度调研及投资前景预测分析报告》显示，在激光雷达领域，使用MEMS微振镜制备而成的MEMS固态激光雷达有着比传统机械式旋转激光雷达更小的体积、更高的精确度、更优异的性能，已成为车载激光雷达未来发展的主要趋势。目前市场上搭载MEMS固态激光雷达的车型正持续增加，如小鹏P5、极狐阿尔法S、蔚来ET7等。未来随着下游市场快速发展，我国MEMS微振镜将迎来市场发展机遇期。
在汽车HUD领域，MEMS微振镜是汽车HUD的关键零部件之一，当前在智能座舱行业景气度持续上升背景下，汽车HUD逐渐受到市场重视，渗透率正持续提升。2022年国内汽车HUD市场规模已超180亿元，由此，MEMS微振镜需求持续增加。
随着下游市场快速发展，我国MEMS微振镜市场展现出良好发展前景。目前国内布局MEMS微振镜市场的企业数量正持续增加，主要企业包括深圳英唐智能控制、奥比中光科技、无锡微视传感科技、西安知微传感技术、苏州恒芯微电子、青岛小优智能科技、上海珩图科技等。
新思界
行业分析人士表示，MEMS微振镜是一类用于生产汽车激光雷达、微投影仪、汽车HUD（平视显示系统）、AR器件等高技术产品的关键器件，目前需求正随着下游市场的快速发展而增加，行业发展前景良好。我国企业正在积极布局MEMS微振镜市场，未来随着本土企业技术不断升级，国内市场国产替代进程有望持续加速。
