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我国CMP修整器市场需求空间大 国产化生产将是必然趋势

2023-09-19 16:52      责任编辑:王昭    来源:www.newsijie.com    点击:
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我国CMP修整器市场需求空间大 国产化生产将是必然趋势

  CMP修整器市场集中度较高,主要供应商包括3M、Saesol Diamond、Entegris、Kinik Company等,其中3M市场占比最高。长期以来,我国CMP修整器市场需求依赖进口,近年来,得益于技术突破、研究深入以及超硬材料产业发展,CMP修整器国产化进程逐渐加快,目前我国CMP修整器相关企业有微方科技、华海清科、南京三超新材等,其中南京三超新材CMP修整器国产化进度处于全国前列。

  CMP抛光垫修整器即CMP修整器,多采用金属基体,通过高温钎焊技术将金刚石磨粒与基体结合。CMP修整器具有去除沟槽废液、提高抛光垫使用寿命、改善抛光垫平面度等作用,其性能将直接影响晶圆平坦化效果。

  当半导体芯片特征尺寸小于0.35μm时,需进行全局平坦化处理,而CMP(化学机械抛光)是目前唯一全局平坦化技术。CMP抛光垫是实现晶圆平坦化处理的关键耗材,在使用过程中,CMP抛光垫存在易老化、表面沟槽易堵塞等问题,为保证抛光效率、精度,CMP抛光垫需要CMP修整器进行加工。

  根据SEMI数据显示,2022年,全球半导体硅晶圆出货面积为147.13亿平方英寸,创历史新高。CMP抛光垫是晶圆制造关键材料之一,随着半导体晶圆产业发展,CMP抛光垫市场规模不断扩大,2022年,我国CMP抛光垫市场增速达到12.5%以上。

  根据新思界产业研究中心发布的《2023-2027年中国CMP修整器市场行情监测及未来发展前景研究报告》显示,半导体硅晶圆出货量增长、CMP抛光垫市场规模扩大,将带动CMP修整器市场需求不断释放,预计2023年,全球CMP修整器市场规模将达到3.0亿美元,2023-2028年,全球CMP修整器市场将以5.5%左右的年均复合增长率增长。

  全球范围内,CMP修整器市场主要分布在北美、欧洲、日本、中国及中国台湾等地区,随着晶圆制造向东转移,中国、东南亚、中东等地区CMP修整器市场增长速度将加快,尤其是中国、东南亚地区。目前硅晶圆主流尺寸为300mm,其对CMP修整器的需求占比最高,达到77.6%以上。

  新思界行业分析人士表示,CMP修整器对晶圆平坦化效果影响较大,随着晶圆制造向平坦化方向发展,CMP修整器市场需求将进一步释放。我国是晶圆制造大国,但以代工为主,高端晶圆、大尺寸硅片供应能力较低,为加强全供应链自主可控能力,CMP修整器、CMP抛光垫等晶圆相关设备和耗材国产化生产将是必然趋势。

关键字: 晶圆 CMP修整器