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高压汞灯(高压水银灯)种类丰富 在光刻机领域拥有广阔应用前景

2023-11-07 17:03      责任编辑:杨光    来源:www.newsijie.com    点击:
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        高压汞灯又称高压水银灯,指外壳呈橄榄形,壳内放电管含有金属电极且充有高压汞蒸气的放电灯。高压汞灯具有亮度高、使用寿命长、显色性好、发光效率高等优势,在光刻机、室内照明、室外照明、医疗、工业生产等领域应用广泛。

        高压汞灯种类丰富,常见产品包括超高压汞灯、紫外线高压汞灯、自镇流高压汞灯以及荧光高压汞灯等。超高压汞灯指汞蒸气压力为10133~20265KPa的高压汞灯,可细分为毛细管超高压汞灯、短弧超高压汞灯两类,其发光亮度强,在投影仪及光学仪器中应用较多。紫外线高压汞灯又称紫外UV高压汞灯,其既可发出紫外线,也可发出可见光,具有功率密度高、光谱范围宽等优势,在医疗领域应用较多。

        高压汞灯主要应用于光刻机、室内照明、室外照明、医疗、工业生产等领域。在室内照明领域,高压汞灯可用于影院、剧场、体育馆、展览馆、博物馆等场所;在室外照明领域,高压汞灯可用于室外操场、街道、停车场、广场、公园等场所;在医疗领域,高压汞灯可用于医疗杀菌、口腔治疗、皮肤病治疗以及医学诊断等过程;在工业生产领域,高压汞灯可用于生产车间照明系统。

        根据新思界产业研究中心发布的《2023年全球及中国高压汞灯(高压水银灯)产业深度研究报告》显示,高压汞灯作为光源,还可用于光刻机光学系统中,与极紫外光光源(EUV)以及深紫外光光源(DUV)相比,其具有生产成本低、技术成熟度高等优势。高压汞灯光刻光源系统通常由掩模面、椭球面反射镜、高压汞灯、滤光镜、聚光透镜、准直透镜、复眼透镜等组件构成。光刻机属于芯片制造核心设备,未来伴随下游行业发展速度加快,我国高压汞灯应用需求将日益旺盛。

        我国高压汞灯生产企业众多,但本土企业集中于生产中低端产品,高端市场被外资企业占据主导。日本牛尾光源株式会社(USHIO)、德国贺利氏集团(Heraeus)等为全球知名高压汞灯生产商。

        新思界行业分析人士表示,高压汞灯性能优良,在众多领域应用广泛。未来随着光刻机等高新技术产业发展速度加快,高压汞灯行业发展前景将持续向好。紫外线高压汞灯为高压汞灯市场主流产品,其应用需求不断增长,带动高压汞灯行业景气度不断提高。预计未来一段时间,具备高端高压汞灯量产实力的企业将占据我国高压汞灯市场更大空间。
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