微焦点X射线源，是X射线源的一种。X射线源利用阴极发射的高速电子轰击阳极金属靶面产生X射线，是X射线检测设备的核心组成部分。X射线源阴极发射的电子聚焦到阳极靶面上，这个焦点的尺寸越小，X射线检测设备的检测精度越高。微焦点X射线源的焦点尺寸达到微米级、纳米级，属于高端X射线源。
根据新思界产业研究中心发布的
《2024-2029年中国微焦点X射线源行业市场深度调研及发展前景预测报告》显示，微焦点X射线源主要用于工业无损检测领域，包括集成电路、微电子、动力电池、储能电池、铸件、焊件等方面，满足高精度检测需求。全球电子产业、新能源产业增长迅速，为微焦点X射线源带来广阔发展空间，中国是微焦点X射线源的主要市场之一，需求增速高于全球平均水平。2023年，中国工业用微焦点X射线源市场规模约为11.9亿元，预计2024年将增长至15.2亿元。
按照密封方式来划分，微焦点X射线源可以分为闭管微焦点X射线源、开管微焦点X射线源两大类。闭管微焦点X射线源的阴极与阳极密封在真空管内，为一体式结构，最大电压相对较低、焦点尺寸相对较大，但性价比高、无需维护、启动速度快、使用寿命长。
开管微焦点X射线源的阴极与阳极不密封，可以更换，使用时利用真空泵抽真空，最大电压更高、焦点尺寸更小、检测精度更高，但启动时间较长、使用寿命较低、生产及维护成本高。对比来看，在实际应用中，闭管微焦点X射线源凭借性价比优势应用比例更高，开管微焦点X射线源主要用于对检测精度要求极高的场景中，需求较少。
微焦点X射线源技术壁垒高，全球生产商数量少，主要是德国依科视朗（Yxlon）、德国沃克斯（X-RAY WorX）、美国赛默飞世尔（ThermoFisher）、日本滨松光子（Hamamatsu）、中国日联科技等。其中，依科视朗、沃克斯在开管微焦点X射线源市场中处于垄断地位；赛默飞世尔、滨松光子在闭管微焦点X射线源市场中处于垄断地位。
早期，我国微焦点X射线源需求完全依靠进口，在需求的推动下，国内研发步伐不断加快。现阶段，日联科技已经打破技术垄断，研制出闭管微焦点X射线源，但其技术水平与国外企业相比仍有差距，产品最大电压不及进口产品。目前我国在开管微焦点X射线源领域尚未实现技术突破。
新思界
行业分析人士表示，我国政府对微焦点X射线源行业发展极为重视，科技部发布的2023年度国家重点研发计划“基础科研条件与重大科学仪器设备研发”重点专项中，提出要开发微焦点金刚石复合靶X射线源，实现微米量级光斑、高光通量输出，满足高端科研仪器应用需求。在市场需求快速增长、政策大力支持的双重利好下，我国微焦点X射线源行业发展速度有望加快。
