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玻璃通孔(TGV)具有替代硅通孔(TSV)潜力 未来产业发展空间广阔

2024-08-12 17:35      责任编辑:王昭    来源:www.newsijie.com    点击:
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玻璃通孔(TGV)具有替代硅通孔(TSV)潜力 未来产业发展空间广阔

  玻璃通孔(TGV)是一种在玻璃基板上制造贯穿通孔的技术。玻璃通孔技术被认为是下一代三维集成的关键技术,具有工艺流程简单、机械稳定性强、成本低、易获取大尺寸超薄玻璃衬底、高频电学性能好等优势,可应用在高频芯片3D封装、芯片堆叠、MEMS封装、多层玻璃基板、射频模块等领域。

  玻璃通孔工艺主要涉及到玻璃通孔成孔、玻璃通孔填孔两大核心工艺,其中玻璃通孔成孔工艺是制约玻璃通孔技术发展的主要难题。目前产业界、学术界已开发多种玻璃通孔成孔工艺,包括等离子刻蚀法、激光烧蚀法、喷砂法、光敏玻璃法、聚焦放电法、电化学放电加工法、激光诱导刻蚀法等。

  目前2.5D/3D先进封装已成为市场主流,其中转接板发挥着重要作用。近年来,硅通孔技术(TSV)发展迅速,目前已趋于成熟,实际应用广泛,但基于硅材料特点,硅转接板存在成本高、电学性能差等主要问题。玻璃通孔技术具有替代硅通孔技术的潜力,是目前全球半导体企业和科研院所研究热点。

  根据新思界产业研究中心发布的《2024-2029年玻璃通孔(TGV)行业市场深度调研及投资前景预测分析报告》显示,目前玻璃通孔市场已经吸引英特尔、三星、苹果、康宁、德国LPKF等国际企业布局。从国内来看,我国企业已在玻璃通孔技术(包括沃格光电、雷曼光电、五方光电、鈦昇科技等)、设备(包括帝尔激光、德隆激光、大族激光等)、材料(包括天承科技)等方面均有布局。

  玻璃通孔核心技术、高端产品由国外企业所掌握。但近年来,随着国内技术迭代,我国与国际先进水平的差距不断缩小,部分已走在国外厂商的前列,如在10微米通孔和填充技术方面。在产业化方面,三叠纪(广东)科技是国内唯一一家同时拥有玻璃基晶圆、板级封装线的公司,其TGV板级封装线于2024年7月19日投产,这是国内首条TGV板级封装全自动化生产线。

  新思界行业分析人士表示,现阶段,我国玻璃通孔技术尚处于发展初期,产业链发展尚不成熟,但玻璃通孔技术研发景气度高,正吸引大批企业和资本入局。我国玻璃通孔市场在技术迭代、产能增速等方面高于全球平均水平,在技术、设备、材料等方面持续发力下,未来5年内,我国有望实现玻璃通孔技术商业化大规模生产。

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