六氯乙硅烷又称六氯二硅烷、六氯化二硅，简称HCDS，是一种氯硅烷，外观为无色透明液体状，不溶于醇类、强碱。按纯度不同，六氯乙硅烷分为高纯度级别、普通纯度级别，高纯度级别六氯乙硅烷的纯度>99.5%，主要用在半导体、太阳能等领域；普通纯度级别六氯乙硅烷纯度为95%-98%，主要用于工业生产或提纯。
六氯乙硅烷具有性能稳定、挥发性低、湿度敏感、沉积温度低、沉积压力低等特点，在半导体、光电材料、光纤、航空航天、太阳能等领域具有广泛应用，其中半导体是主要应用领域。在半导体领域，六氯乙硅烷主要采用化学气相沉积法（CVD）、原子层沉积法（ALD）用于氧化硅薄膜、氮化硅薄膜的制备，由其制备的薄膜具有优良的绝缘性、抗腐蚀性和兼容性。近年来，受益于半导体产业的发展，电子级六氯乙硅烷市场需求快速释放。
根据新思界产业研究中心发布的《
2024-2029年中国电子级六氯乙硅烷（电子级HCDS）行业市场深度调研及发展前景预测报告》显示，2023年全球六氯乙硅烷市场规模达2.0亿美元以上，预计2024-2028年，全球六氯乙硅烷市场将以6.0%以上的年均复合增长率增长，在预期内，电子级六氯乙硅烷市场增速将高于工业级六氯乙硅烷市场增速。
作为电子特气，电子级六氯乙硅烷行业壁垒较高，全球市场相对集中，其中美国道康宁、德国赢创、法国液化空气集团等国外企业占据全球市场主要份额。我国电子级六氯乙硅烷市场需求旺盛，但早期大部分需求依赖进口。近年来，随着国内企业对高纯六氯乙硅烷的研究增多，部分企业拥有了自主生产技术，电子级六氯乙硅烷国产替代步伐加快。
我国电子级六氯乙硅烷市场布局企业有洛阳中硅高科技有限公司、内蒙古大全半导体有限公司（40吨电子级六氯乙硅烷建设中）、中巨芯科技有限公司、武汉新硅科技潜江有限公司等，其中洛阳中硅高科技有限公司电子级六氯乙硅烷市场占有率位居第一，制备技术成果达到国际领先水平。
新思界
行业分析人士表示，我国是全球电子产品制造中心，半导体生产能力逐年增长，电子级六氯乙硅烷市场用量将持续增加，行业发展前景广阔。为配套先进半导体产业发展、提高国产电子级六氯乙硅烷产品质量，近年来，我国推出了一系列行业配套标准，包括《集成电路用六氯乙硅烷》、YS/T 1434-2021《六氯乙硅烷组分含量的测定 气相色谱法》等。
