双（二乙氨基）硅烷，又称双（二乙基氨基）硅烷，简称BDEAS，是一种先进硅基前驱体材料。前驱体材料在集成电路的外延、光刻、化学气相沉积、原子层沉积等工艺中应用广泛，其中硅基前驱体材料是重要且用量较大的前驱体材料，也是先进集成电路领域研究热点之一。
近年来，受益于全球半导体产业东移，我国集成电路产能持续扩张，根据国家统计局数据显示，2024年1-7月，我国集成电路产量同比增长29.3%，达2445亿块。集成电路生产规模扩大，为半导体前驱体材料市场发展带来了增长动力，预计2024年我国半导体前驱体材料市场规模将达7.9亿美元。双（二乙氨基）硅烷作为目前备受关注的半导体前驱体材料之一，市场发展空间广阔。
双（二乙氨基）硅烷是以二氯硅烷和二乙胺为原料，三乙胺和十二烷为溶剂，在氩气气氛保护下制备得到。双（二乙氨基）硅烷可分为工业级BDEAS、电子级BDEAS，工业级BDEAS经精馏、过滤提纯可制得电子级BDEAS。
根据新思界产业研究中心发布的《
2024-2029年中国双（二乙氨基）硅烷（BDEAS）行业市场深度调研及发展前景预测报告》显示，电子级BDEAS反应活性较高，能有效提高薄膜沉积效率，主要用于自对准双重图形（SADP）技术中，及低温制备SiO2膜、硅基高介电薄膜等含硅半导体薄膜，进一步应用在太阳能电池、二极管等领域。
我国双（二乙氨基）硅烷市场布局企业有铜陵安德科铭电子材料科技有限公司、大连科利德光电子材料有限公司、南大光电半导体材料有限公司等。我国双（二乙氨基）硅烷制备技术研发起步较晚，目前生产规模较小。其中大连科利德光电子材料有限公司是T/DLSHXH 008-2022《电子特气 双（二乙基氨基）硅烷》团体标准的主起草单位，拥有“一种高纯双二乙胺基硅烷制备装置及方法”等多项相关技术专利。
作为先进硅基前驱体材料，双（二乙氨基）硅烷已入选了江苏省工信厅发布的《江苏省重点新材料首批次应用示范指导目录（2024年版）》，性能要求：纯度99.9%，产率90%，金属杂质0.65ppb，氯含量0.8ppm。新思界
行业分析人士表示，双（二乙氨基）硅烷是目前业界较流行的硅基前驱体材料，主要用于含硅半导体薄膜的生产，随着我国半导体行业景气度提升，双（二乙氨基）硅烷市场需求空间广阔。
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