双（叔丁基氨基）硅烷，简称BTBAS，室温下呈无色透明液体，在空气中具有高挥发性，易燃，须在惰性气体保护下储存。双（叔丁基氨基）硅烷具有较高反应活性，可应用在半导体、表面处理、涂料等领域。
半导体是双（叔丁基氨基）硅烷主要需求领域，作为先进硅基前驱体材料，双（叔丁基氨基）硅烷可用于在较低温度下沉积氮化硅和氧化硅薄膜，制备半导体器件。双（叔丁基氨基）硅烷是氨基硅烷前驱体中反应活性较高的一种前驱体，由于其Si-N键相对较弱，可使硅原子有效地参与到薄膜的生长过程中，提高气相沉积（CVD）、原子层沉积（ALD）等薄膜沉积工艺速率和效率。
目前国内双（叔丁基氨基）硅烷制备方法报道较少，主要途径有以氮气或惰性气体为载气，将二氯硅烷蒸气与液态叔丁胺反应，在无水条件下，经过搅拌、过滤、膜分离、蒸发和精馏等工艺得到高纯产品，或在惰性气体及有机溶剂存在下，加入二氯氢硅和功能催化剂，搅拌降温后加入叔丁基氨反应，完成反应后过滤杂质得到成品。
根据新思界产业研究中心发布的《
2024-2028年中国双（叔丁基氨基）硅烷（BTBAS）市场行情监测及未来发展前景研究报告》显示，近年来，我国晶圆产能呈逐渐扩展态势，带动双（叔丁基氨基）硅烷市场需求空间持续扩大。同时随着沉积层数增加，市场对前驱体材料的要求不断提升，电子级高纯度双（叔丁基氨基）硅烷市场需求旺盛。
双（叔丁基氨基）硅烷产业发展政策环境良好。如工信部等多部门发布《关于推动未来产业创新发展的实施意见》，其中提到要发展先进半导体、高性能碳纤维等关键战略材料。双（叔丁基氨基）硅烷作为较流行的先进半导体硅基前驱体材料，行业发展态势将持续向好。
在全球市场上，双（叔丁基氨基）硅烷市场布局企业包括沃尼克材料北美公司、埃雷兹科技公司、美国AMS、Anhui Botai Electronic Materials、艾佩科（苏州）电子、江苏南大光电材料等。我国双（叔丁基氨基）硅烷市场起步较晚，在生产工艺、纯化工艺等方面还需进一步优化。
新思界
行业分析人士表示，双（叔丁基氨基）硅烷是随半导体产业发展而诞生的一种重要氨基硅烷前驱体材料，我国是全球电子制造中心，双（叔丁基氨基）硅烷市场需求空间广阔。近年来，随着研究深入，双（叔丁基氨基）硅烷生产技术在不断的开发，但目前来看，其生产工艺仍需进一步优化。
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