硅谐振压力传感器又称硅基谐振式压力传感器，简称SRPS，是一种在硅材料上利用外界压力变化导致谐振子谐振频率的变化的原理，将被测量压力变化转换成谐振频率变化的压力传感器。
根据敏感原理不同，压力传感器分为压阻式、压电式、谐振式等类型，谐振式压力传感器工作于谐振状态，在精度、稳定性、抗干扰能力等方面性能突出。根据新思界产业研究中心发布的《
2024-2028年中国硅谐振压力传感器（SRPS）行业市场供需现状及发展趋势预测报告》显示，硅谐振压力传感器具有精度高、准数字输出、稳定性好、抗干扰能力强、高分辨率等特点，适用于长距离传输，在消费电子、工业控制、航天航空、压力计量、气象监测等领域应用空间广阔。
在航天航空领域，硅谐振压力传感器是机载大气数据系统、座舱环控系统的核心传感器，可满足飞行信息的高精度测量和舱压、余压等参数的监测。硅谐振压力传感器的测量精度处于MEMS压力传感器之首，但硅谐振压力传感器生产成本高、周期长、技术难度大，极大地限制了其市场发展和应用领域扩展。
早期谐振式压力传感器的谐振结构由金属或石英材料制备，存在体积大、功耗高等问题，而硅谐振压力传感器解决了传统压力传感器存在的问题，是国内外研究热点。目前硅谐振压力传感器相关研究已趋于成熟，商业化进程持续加快。
全球范围内，硅谐振压力传感器相关企业有美国德鲁克Druck、美国Paroscientific公司、日本横河电机、法国thales公司、西安思微传感科技有限公司、中国航空工业集团有限公司、山东中科思尔科技有限公司等。
中国航空工业集团有限公司团队研制硅谐振压力传感器入选了《中央企业科技创新成果产品手册（2023年版）》，该硅谐振压力传感器技术指标达到了国内领先、国际先进的水平，测量精度全温可达±0.02%F.S。
新思界
行业分析人士表示，硅谐振压力传感器具有精度高、抗干扰能力强等特点，目前应用主要集中在航天航空、气象等领域。由于技术壁垒高，硅谐振压力传感器商业化生产企业较少。经过多年研发，我国硅谐振压力传感器各项技术指标已接近或达到国际先进水平，但在商业化方面，相比于欧美市场仍存在一定差距。
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