陶瓷加热器，又称陶瓷加热元件，指利用陶瓷材料作为热传导介质的加热装置。陶瓷加热器具有耐腐蚀、使用寿命长、安全可靠性高、热转换效率高、绿色环保等优势，可用于集成电路等半导体器件制造过程中，为半导体设备重要组件。
按照陶瓷材料不同，陶瓷加热器可分为氧化铝陶瓷加热器、氮化铝陶瓷加热器等类型。氮化铝陶瓷加热器以氮化铝作为热传导介质，具备极佳导热性、等离子体抗性以及电绝缘性。近年来，氮化铝陶瓷加热器行业发展速度不断加快，已成为陶瓷加热器市场主流产品。2023年全球氮化铝陶瓷加热器市场规模达到近4000万美元，同比增长近10%。未来随着细分产品应用需求增长，陶瓷加热器行业发展态势将持续向好。
根据新思界产业研究中心发布的《
2024-2029年陶瓷加热器行业市场深度调研及投资前景预测分析报告》显示，陶瓷加热器为半导体设备重要组成部分，能够保证集成电路在加工过程中的温度均匀性。随着全球半导体产业向我国大陆转移，我国集成电路产量不断增长。据国家工信部统计数据显示，2023年我国集成电路产量达到3514亿块，同比增长6.9%。预计未来一段时间，伴随半导体产业快速发展，我国陶瓷加热器市场空间将进一步扩展。
全球陶瓷加热器市场主要集中于欧美以及日韩等国，主要生产商包括韩国MiCo Ceramics公司、日本NTK CERATEC株式会社、日本碍子株式会社（NGK INSULATORS）、日本住友电气工业株式会社（Sumitomo）、美国SemiXicon公司、美国CoorsTek公司等。韩国MiCo Ceramics公司专注于半导体设备专用陶瓷零部件的研发、生产及销售，其氮化铝陶瓷加热器已在CVD、PE-CVD、ALD等半导体薄膜沉积设备中获得应用。
在本土方面，我国陶瓷加热器主要生产商包括中瓷电子、商德先进陶瓷、思考电子、珂玛科技等。珂玛科技主营产品为先进陶瓷零部件，拥有多项陶瓷加热器相关发明专利，其产品可满足客户定制化需求。据珂玛科技企业年报显示，2023年公司先进陶瓷材料零部件业务实现营收4亿元。
新思界
行业分析人士表示，随着半导体产业快速发展，陶瓷加热器市场需求日益旺盛。未来伴随技术进步，氮化铝陶瓷加热器作为陶瓷加热器代表产品，行业发展空间将进一步扩展。与海外发达国家相比，我国陶瓷加热器行业起步较晚，但发展势头迅猛，已有多家企业具备高性能产品自主研发及生产实力。
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