压力传感器种类丰富,主要包括薄膜压力传感器、陶瓷压阻式压力传感器、金属应变片粘贴式压力传感器、差压电容式压力传感器等。薄膜压力传感器,指基于弹性膜片制成的能将机械压力转换为电信号的装置。薄膜压力传感器具有抗干扰力强、精度高、灵敏度高等优势,主要应用于机械制造、航空航天、矿产开采等领域。
薄膜压力传感器主要包括半导体薄膜压力传感器、合金薄膜压力传感器两种类型。半导体薄膜压力传感器可细分为金刚石薄膜压力传感器、SiC薄膜压力传感器以及多晶硅薄膜压力传感器;合金薄膜压力传感器可细分为钯铬合金薄膜压力传感器、镍铬系合金薄膜压力传感器以及铂钨合金薄膜压力传感器等。SiC薄膜压力传感器以SiC薄膜为基材制成,为薄膜压力传感器代表产品。
薄膜制备技术为薄膜压力传感器核心技术,包括化学气相沉积(CVD)、物理气相沉积(PVD)、脉冲激光沉积(PLD)以及溶胶-凝胶等。脉冲激光沉积指利用高功率脉冲激光束对靶材表面进行照射,进而形成薄膜,该技术具备薄膜沉积速度快、参数易控制、成品质量好等优势,未来有望在薄膜压力传感器制备过程中获得广泛应用。
根据新思界产业研究中心发布的《
2024-2029年薄膜压力传感器行业市场深度调研及投资前景预测分析报告》显示,薄膜压力传感器为压力传感器细分产品,在机械制造、航空航天、矿产开采等领域应用较多。在机械制造领域,薄膜压力传感器可用于控制模具压力;在航空航天领域,其可用于监测座舱压力、发动机内部压力以及空气动力参数等;在矿产开采领域,其可用于监测采矿设备、矿井环境等。
常州天策电子科技有限公司、中国电子科技集团有限公司、深圳国微感知技术有限公司、宇博智能科技有限公司、苏州能斯达电子科技有限公司、深圳嘉宇顺科技有限公司等为我国薄膜压力传感器市场主要参与者。能斯达推出的MD30-60柔性薄膜压力传感器,目前已在智能机器人以及人机交互领域获得应用。
新思界
行业分析人士表示,随着压力传感器行业景气度提升,薄膜压力传感器作为其重要分支,市场空间将不断扩展。受益于技术进步,我国薄膜压力传感器行业发展速度不断加快。受市场前景吸引,我国已有多家企业布局薄膜压力传感器行业研发及生产赛道,未来其市场竞争将日益激烈。
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