层流压差式MFC即层流压差式质量流量控制器，是一种用于气体质量流量测量和控制的仪器，即通过层流元件将气体流动状态规整为规则的层流，并利用压差传感器测量层流元件两端的压力差来计算气体流量。
质量流量控制器（MFC）主要由质量流量计（MFM）和控制阀组成，根据MFM不同，MFC可分为热式、差压式、转子式等七种类别。差压式MFC是常见的MFC之一，其响应速度、测量精度、重复性要优于热式MFC（主流MFC），未来市场份额有望提升。差压式MFC又可分为层流压差式MFC、节流压差式MFC，层流压差式MFC是未来发展趋势。
根据新思界产业研究中心发布的《
2024-2028年中国层流压差式质量流量控制器（层流压差式MFC）市场行情监测及未来发展前景研究报告》显示，相比热式MFC，层流压差式MFC具有测量精度高、测量范围宽、响应速度快、抗污染能力强、重复性高等优势，可满足光伏、生物医药、半导体、科学研究等领域对气体流量的精准控制需求。此外层流压差式MFC也可以应用在环境检测、真空镀膜、航空航天等领域。
层流压差式MFC测量精度高，在半导体领域使用较多。2023年，我国半导体用MFC市场规模达20亿元以上。半导体用MFC技术壁垒高，市场由美国MKS、美国Brooks、日本Horiba等企业占据主导。我国企业多布局光伏、面板用MFC，半导体用MFC国产化率较低，在中美贸易战加剧背景下，其国产替代需求迫切。
近年来，通过加大自主创新力度、积极参与国际合作、政策资金投入等方式，我国MFC企业不断取得突破，半导体用MFC供应能力逐渐提升。如青岛芯笙微纳电子科技有限公司（青岛芯笙）开发出了基于高速压电比例阀的半导体级MFC，攻克了国产半导体级MFC发展的关键技术壁垒；陕西易度智能科技有限公司（易度智能）拥有层流压差式MFC技术积累，MFC技术系列产品已得到CPA认证（中华人民共和国计量器具型式批准证书）、欧洲CE认证。
新思界
行业分析人士表示，层流压差式MFC在测量精度、响应速度等方面具有明显优势，是未来MFC发展趋势，随着新技术、新传感器应用，层流压差式MFC测量精度仍有上升空间。层流压差式MFC价格较高，在半导体领域应用居多，其国产化发展，对我国半导体技术自主可控、产业升级，及信息安全保障等具有重要意义。
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