电子级溴化氢是一种用于半导体制造的高纯度溴化氢(HBr)。溴化氢是由氢和溴元素组成的无机化合物,气体为其常见形式,也可溶解在水中形成氢溴酸溶液。作为化工原料,溴化氢在有机合成、橡胶、染料、水处理、石油化工、金属表面处理、半导体制造等领域有着广泛应用。
在半导体制造领域,电子级溴化氢可作用氢原子源、清洁剂、蚀刻剂、掺杂剂等。作为蚀刻剂,电子级溴化氢可用于磷掺杂多晶硅、单晶硅、二维半导体的蚀刻工艺中,用于辅助图案形成和器件制备。
电子级溴化氢的纯度、稳定性对半导体器件性能具有重要影响,为保障半导体器件质量,电子级溴化氢通常具有高纯度、低金属离子含量、高稳定性、低挥发性有机物含量等特点。
根据新思界产业研究中心发布的《
2025-2030年电子级溴化氢行业市场深度调研及投资前景预测分析报告》显示,电子级溴化氢是氟碳类刻蚀气体的环保替代品,随着环保要求提升、芯片先进工艺不断推进,电子级溴化氢市场需求将不断释放,预计2030年全球电子级溴化氢市场规模将达到3.0亿美元。
在国际市场上,电子级溴化氢供应商主要包括日本昭和电工、法国液化空气集团、德国林德集团、日本艾迪科(ADEKA)、太阳日酸等,以上企业占据全球电子级溴化氢市场绝大部分份额。
电子级溴化氢生产技术壁垒高,我国市场需求主要从日本进口。但随着国际贸易摩擦、地缘政治风险加剧,半导体供应链安全重要性日益凸显,在此背景下,我国企业也加快了电子级溴化氢市场布局。
目前我国电子级溴化氢市场布局企业有福建福豆新材料、湖南凯美特气体、广东华特气体、广钢气体、福建久策气体、金宏气体、昊华气体、天津绿菱气体等。昊华气体为中国中化控股有限责任公司旗下科技型企业,其“电子级溴化氢及氟甲烷生产线”项目成功入选了《中央企业科技成果应用拓展工程首批项目清单(2024年)》。
新思界
行业分析人士表示,电子级溴化氢为新型等离子刻蚀气体,在半导体制造中不可或缺,随着芯片工艺迭代、环保要求提升,电子级溴化氢应用将更加广泛。全球电子级溴化氢市场集中度较高,我国市场需求依赖进口,但电子级溴化氢国产替代进程正不断推进,目前国内企业电子级溴化氢规划产能已达数千吨,随着相关项目投产,我国电子级溴化氢将实现自主供应。