CMP保持环(CMP固定环)是半导体晶片表面加工过程中化学机械抛光环节所用的装置,安装在CMP设备研磨头底部,是CMP抛光头的核心配件之一,用于固定晶圆、实现晶圆表面均匀平坦化。CMP保持环(CMP固定环)具有优异的耐磨损、耐蠕变性、耐高温、耐化性等特点,通常由PPS、PEEK、PAI、PETP等塑料材质制成,有4英寸、6英寸、8英寸、12英寸等不同规格的产品。
CMP保持环(CMP固定环)产业链上游为高性能塑料生产行业,相关供应商包括中研股份、鹏孚隆、君华特塑、恩欣格、威格斯、赢创、索尔维等;产业链中游是Ensinger、AKT Components Sdn Bhd、CALITECH、瑞耘科技、江丰电子、爱科精工等CMP保持环(CMP固定环)生产企业;下游是CMP设备行业,CMP设备生产的主要企业有美国应用材料、日本荏原、中国的晶亦精微及华海清科。
从国内CMP保持环(CMP固定环)市场竞争格局来看,现阶段国内CMP保持环(CMP固定环)市场主要由AKT Components Sdn Bhd、Ensinger、CALITECH等外资企业主导,这些企业拥有先进的技术和丰富的经验,能够生产出高质量、高稳定性的CMP保持环产品,并与美国应用材料、日本荏原、韩国KC Tech、东京精密等CMP设备企业建立了稳定的合作关系。中国本土企业如江丰电子、爱科精工虽对进口品牌形成一定替代,但市场占有率仍比较低。
从CMP保持环(CMP固定环)细分市场来看,根据新思界产业研究中心发布的
《2025-2030年CMP保持环(CMP固定环)行业市场深度调研及投资前景预测分析报告》显示,PEEK材质CMP保持环(CMP固定环)和PPS材质CMP保持环(CMP固定环)是市场中主流的CMP保持环(CMP固定环)产品。其中,中国本土企业生产的CMP保持环(CMP固定环)产品主要以PPS为原材料,而国外企业生产的CMP保持环(CMP固定环)主要以PEEK为原材料。
新思界
产业分析人士表示,CMP保持环(CMP固定环)的材料、沟槽数、沟槽宽度、沟槽形状等因素均会对CMP设备的抛光效果(粗糙度、平坦度、去除率等)产生影响,现阶段国内对CMP保持环(CMP固定环)的研究主要集中在产品设计方面,通过优化CMP保持环(CMP固定环)设计,达到增加抛光效率、降低生产成本的目的。未来,国内相关企业及研究机构将会继续优化CMP保持环(CMP固定环)的结构设计,并将通过技术创新来提高CMP保持环(CMP固定环)的综合性能、降低其产品生产成本。
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