铌靶材,采用高纯度金属铌(Nb)制造而成的靶材,材料纯度在99.95%及以上。在半导体、消费电子等产业持续快速发展背景下,铌靶材需求量持续上升,行业发展前景广阔。
铌,化学符号Nb,属于过渡金属元素,是一种稀有金属,为灰白色金属,高纯铌延展性较高、质地较软,具有高熔点、高抗腐蚀性、高导电性等特点。在全球范围内,铌资源主要分布在巴西,其次是加拿大,巴西铌矿年产量占全球总产量的90%左右。我国铌资源储量少,且提炼难度大,需要依靠进口。
以铌矿为原料冶炼后获得氧化铌,再加工为铌锭、铌条等,进一步加工可获得铌靶材。铌靶材作为溅射靶材,在溅射镀膜过程中,铌原子以氧化物的形式沉积在基材表面形成薄膜。
平面铌靶材的外形通常为方形、圆形,使用时,铌靶材与背靶连接,材料溅射沉积在基材上形成薄膜,主要应用在半导体器件、光电器件等制造领域。旋转铌靶材的外形通常为圆柱形,使用时,物理旋转使材料均匀沉积在基材表面,主要应用在显示器、太阳能电池板等制造领域。
铌靶材是一种重要的薄膜材料,可以广泛应用在光学镜头、触摸屏、集成电路、光纤、光伏电池,以及船舶、化工装备等制造领域,以满足这些产品的耐热性、耐腐蚀性、导电性等性能提升需求。
新思界
行业分析人士表示,宁夏东方钽业股份有限公司是我国最大的钽、铌产品生产企业,钽、铌产品生产技术达到国际先进水平,具有高纯铌生产能力。2025年1月,东方钽业在回答投资者提问时表示,钽靶、铌靶分别作为半导体溅射靶材和平板显示靶材的重要组成部分,在行业快速增长及国产替代的背景下将迎来快速发展。
在我国《中央企业科技创新成果产品手册(2022年版)》中,中国有色矿业集团有限公司研制的光学镀膜用铌靶材被列入,产品包括平面铌靶材与旋转铌靶材,材料纯度99.95-99.98%,已经应用在德国莱宝、利达光电、上海承耀、北京华创等企业中。
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