钼铌合金靶材,以金属钼(Mo)、金属铌(Nb)为主要成分,其纯度高,通常达到99.95%以上,可以溅射沉积得到高质量薄膜。钼铌合金靶材具有优良的机械性能、耐腐蚀性能、耐高温性能、抗氧化性能、导电导热性能。
现阶段,TFT-LCD(薄膜晶体管液晶显示器)依然是主流的显示技术之一,TFT-LCD面板制造过程中,需要采用金属靶材,钼铌合金靶材是其中之一。京东方、华星光电、天马微电子等本土企业在我国以及全球TFT-LCD市场中的份额占比不断提高。在此背景下,我国TFT-LCD面板行业对钼铌合金靶材的需求有望持续增长。
为避免被卡脖子,以及受利益吸引,我国钼铌合金靶材研究与生产企业正在增多。山东格美钨钼材料股份有限公司是一家液晶显示用钼铌合金靶材重要生产企业,钼铌合金靶材与钼钛合金靶材是其重点产品,2022年国内市场占有率达到80%。
金堆城钼业股份有限公司掌握了大规格钼铌合金靶材核心制备技术,可用于高世代线液晶面板制造中,其制备的钼铌合金管状靶材直径>150mm,长度2100mm,纯度99.99%,氧含量<500ppm。根据金钼股份年报显示,2024年,公司营业收入135.71亿元,同比增长17.68%,归母净利润29.83亿元,同比下降3.76%。
新思界
行业分析人士表示,我国钼铌合金靶材布局企业还有先导薄膜材料(安徽)有限公司、东莞市塔基特靶材科技有限公司、福建阿石创新材料股份有限公司等,相关专利主要有“一种钼铌靶材及其制备方法”、“一种高强高韧钼铌合金靶材及其制备方法和应用”、“一种低氧钼铌合金靶材生产线及其工艺流程”、“一种钼铌合金靶材及其制备方法”等。
2025年3月,先导薄膜材料(安徽)有限公司公开了一项名为“一种钼铌靶材及其制备方法”的发明专利,钼铌靶材中的钼元素含量为40wt%~60wt%,余量为铌元素和不可避免的杂质,可以改善溅射镀膜性能,使溅射薄膜的比阻抗、应力、耐腐蚀性等各种性能达到均衡。
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