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(3,3-二甲基-1-丁炔)六羰基二钴市场潜力大 我国企业正进行其技术和产能布局

2025-08-29 17:30      责任编辑:王昭    来源:www.newsijie.com    点击:
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(3,3-二甲基-1-丁炔)六羰基二钴市场潜力大 我国企业正进行其技术和产能布局

  (3,3-二甲基-1-丁炔)六羰基二钴,简称CCTBA,分子式(C6H10)CO2(CO)6,是一种金属化前驱体材料,具有较高的挥发性、较低的热分解温度、对水氧极其敏感等特点。

  前驱体材料是半导体薄膜沉积工艺及外延生长、离子注入掺杂、蚀刻、清洗等工艺的核心材料,半导体薄膜沉积工艺是半导体制造的三大核心工艺之一。近年来,随着半导体技术向10nm工艺节点以下演进,钴前驱体凭借优异的导电特性、更强的抗电迁移能力等特点,受到了市场关注。

  钴前驱体分为液体钴前驱体、固体钴前驱体两大类,其中液体钴前驱体具有低温沉积、低电阻率、结晶性良好、化学稳定性良好等特点。(3,3-二甲基-1-丁炔)六羰基二钴属于液态钴前驱体,适用于半导体芯片制造过程中化学气相沉积(CVD)、原子层沉积(ALD)工艺中,可提升半导体芯片的导电性和抗电迁移能力。

  半导体前驱体行业具有高壁垒、高增长等特点,市场长期由德国默克集团、法国液化空气、SK Materials等国际企业占据主导。根据新思界产业研究中心发布的《2025-2029中国(3,3-二甲基-1-丁炔)六羰基二钴(CCTBA)行业市场现状综合研究及投资前景预测报告》显示,(3,3-二甲基-1-丁炔)六羰基二钴作为液体钴前驱体,生产及纯化工艺要求极严苛,受技术限制,目前我国(3,3-二甲基-1-丁炔)六羰基二钴生产规模较小。

  我国(3,3-二甲基-1-丁炔)六羰基二钴技术或产能布局企业包括福建纯铭新材料科技有限公司、福建福豆新材料有限公司、中巨芯科技股份有限公司、上海正帆科技股份有限公司、大连科利德光电子材料有限公司、江苏南大光电材料股份有限公司等。

  目前相关企业正积极扩大(3,3-二甲基-1-丁炔)六羰基二钴产能,其中中巨芯拟在衢州市智造新城区投资新建“集成电路制造用先进电子化学材料项目”,项目实施主体为其全资子公司中巨芯(衢州)科技有限公司,建设内容包括1.5吨/年(3,3-二甲基-1-丁炔)六羰基二钴。

  《电子级(3,3-二甲基-1-丁炔)六羰基二钴》(计划号2024-1356T-SJ)是行业标准计划之一。新思界行业分析人士表示,(3,3-二甲基-1-丁炔)六羰基二钴为高端半导体芯片前驱体代表材料,我国企业正积极突破其产业化关键技术,随着相关工艺持续优化,(3,3-二甲基-1-丁炔)六羰基二钴将在半导体、微电子、磁存储器件等领域实现更广泛应用。

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