电子级三氟化磷，是指纯度在99.99%（4N）及以上的高纯度三氟化磷，属于电子特气。
三氟化磷，别名氟化亚磷，化学式PF3，分子量87.969，常温常压下外观为无色气体状，无味，吸入有毒性，会对眼睛、皮肤造成严重损伤，熔点-151.3℃，沸点-101.2℃，可溶于水乙醇，可与水反应释放有毒氟化氢气体，可与氧、氟发生剧烈反应，存储需密封。
三氟化磷的制备方法主要有：将氟化锌、氟化钠、氟化钙等氟化剂，与三氯化磷或三溴化磷进行反应得到；副产物五氟化磷与白磷在氢气存在下，通过催化还原反应进行制备等。电子级三氟化磷制备是以工业级三氟化磷为原料，通过精馏、闪蒸、过滤等工艺经纯化得到。
工业级三氟化磷在有机合成领域可以用作氟化剂，为有机化合物引入氟原子，能够用来制备含氟农药、含氟染料、含氟医药等；在贵金属冶炼中，可与杂质金属反应生成易挥发的金属氟化物（不与贵金属反应），能够提高贵金属纯度；可与氧气反应制备三氟氧磷。
根据新思界产业研究中心发布的
《2025年中国电子级三氟化磷市场专项调研及企业“十五五规划”建议报告》显示，对比来看，电子级三氟化磷主要应用在半导体产业中，可用作掺杂剂、离子注入源，作为磷源，通过离子注入工艺改变硅等半导体材料的导电性能，进而应用在晶体管、二极管等制造领域；可用于晶圆制造过程中的低温刻蚀工艺环节，与钨、钼等金属反应生成易挥发的金属氟化物，实现金属布线的精细刻蚀，从而实现晶圆表面微结构精准调控。
在我国，天津威斯特科技发展有限公司可以提供纯度≥99.99%的电子级三氟化磷产品，2025年3月，其控股子公司威斯特（东营）特种气体有限公司“威斯特气体年产41吨电子新材料项目（一期）”环境影响评价文件拟审批公示，建设内容中包括电子级三氟化磷生产装置。
除此之外，2025年5月，江西华特电子化学品有限公司“华特电子永修半导体新材料中试基地项目”环境影响报告书拟批准公示，一期建设项目中包括三氟化磷生产线；2025年8月，太和气体（荆州）有限公司“高端电子化学品材料项目”环境影响报告书受理公告，其中包括三氟化磷产能100吨/年，产品纯度99.999%。
新思界
行业分析人士表示，我国半导体产业发展迅速，拉动市场对电子特气的需求持续增长，传统电子级三氟化磷应用领域集中在离子注入方面，近年来晶圆低温刻蚀环节对其需求快速上升。电子级三氟化磷市场空间增大，因此我国进入布局的企业增多，行业产能将持续扩大。
关键字：
