电子级四氯化铪，是指纯度达到99.95%及以上的高纯度四氯化铪。
四氯化铪，分子式HfCl4，分子量320.302，外观为白色结晶粉末状，有腐蚀性，会灼伤眼睛、皮肤，对呼吸系统有刺激性，熔点320℃，可升华，易溶于甲醇、丙酮等有机溶剂，遇水发生反应释放出有毒气体，暴露在空气中易吸湿分解，需密封存储。
根据新思界产业研究中心发布的
《2025年中国电子级四氯化铪市场专项调研及企业“十五五规划”建议报告》显示，电子级四氯化铪主要应用在半导体产业中，用作半导体前驱体材料，采用原子层沉积法（ALD）、化学气相沉积法（CVD）等工艺，沉积生长铪基薄膜。铪基薄膜具有高介电常数特点，是制造新一代小尺寸、高性能晶体管栅极介电层的关键材料之一。电子级四氯化铪能够满足芯片工艺制程不断缩小的发展趋势要求，市场空间正在不断增大。除此之外，凭借优良的光学性能、机械性能、热稳定性能，电子级四氯化铪也可以应用在光学薄膜、大功率LED、近红外光电器件、超高温陶瓷等制造领域。
提纯技术的优劣直接影响电子级四氯化铪的产品纯度与品质。近年来，我国电子级四氯化铪提纯工艺与生产装置相关专利还在增多，主要有福建纯铭新材料科技有限公司“一种电子级四氯化铪的制备装置”，湖南省华京粉体材料有限公司“一种电子级四氯化铪的提纯方法”，贵州威顿晶磷电子材料股份有限公司“一种电子级四氯化铪的提纯方法”等。
2025年5月，湖南省华京粉体材料有限公司“一种电子级四氯化铪的提纯方法”的专利授权公告，该专利在惰性气体保护下，将四氯化铪粗品置入石英舟，经抽真空、升温、升华提纯、降温收集等工艺环节，可以获得纯度达到5N、6N级别的电子级四氯化铪产品。
在我国市场中，电子级四氯化铪生产商主要有先导科技集团有限公司，可以提供99.95%纯度产品；湖南奕嘉新材料有限公司，可以提供纯度≥99.99%产品；湖南省华京粉体材料有限公司，可以提供纯度99.9%-99.99%产品；江苏南大光电材料股份有限公司以及合肥安德科铭半导体科技有限公司等。
新思界
行业分析人士表示，我国电子级四氯化铪产能规模还在扩大。2025年5月，江西华特电子化学品有限公司“华特电子永修半导体新材料中试基地项目”环境影响报告书拟批准公示，一期建设项目中包括四氯化铪产能。除此之外，三祥新材股份有限公司也在积极布局电子级四氯化铪市场。
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