电子级四氟化硅，是一种电子特气，是指纯度在99.99%及以上的应用在电子工业中的四氟化硅产品。
四氟化硅，化学式SiF4，外观为无色气体状，有窒息性气味，有毒性，有腐蚀性，密度3.57g/mL，熔点-90℃，沸点-86℃，可溶于乙醇、硝酸、氢氟酸，不溶于乙醚，遇水水解，暴露在空气中可产生烟雾，不可燃烧。
根据新思界产业研究中心发布的
《2025年中国电子级四氟化硅市场专项调研及企业“十五五规划”建议报告》显示，电子级四氟化硅在电子工业中可以发挥重要作用。电子级四氟化硅可用作硅源，例如用来制备电子级硅烷、多晶硅，应用在太阳能电池制造领域，用来制备高纯石英玻璃，应用在光纤预制棒制造中。电子级四氟化硅可用作反应气体，例如用作刻蚀气体，用于氮化硅、硅化钽等材料蚀刻方面，用作掺杂剂，制造p型半导体，进而用来生产发光二极管，用作前驱体材料，在衬底上沉积得到低介电常数的二氧化硅薄膜绝缘层。
我国现行的电子级四氟化硅国家标准是（GB/T 31058-2014）《电子工业用气体 四氟化硅》，于2015年7月1日实施。随着半导体产业不断发展、集成电路技术不断进步，此版国家标准已经无法满足电子工业发展需求。2025年4月，《电子气体 四氟化硅》国家标准征求意见稿编制说明发布，我国电子级四氟化硅国家标准将重新修订。
电子级四氟化硅的制备工艺主要有六氟硅酸盐热分解法、萤石硫酸法、单质硅直接氟化法等。其中，六氟硅酸盐热分解法在工业生产中较为常见，其以氟硅酸钠（Na2SiF6）为原料，经高温加热分解为四氟化硅、氟化钠，收集气态四氟化硅经冷凝、精馏、吸附等工艺环节获得电子级四氟化硅。
新思界
行业分析人士表示，在我国市场中，电子级四氟化硅布局企业主要有：绿菱电子材料（天津）有限公司，于2017年建设并投产了300吨/年的电子级四氟化硅生产装置；浙江中宁硅业股份有限公司，于2022年实现了300吨/年、99.999%纯度集成电路高纯四氟化硅产能投产；中船（邯郸）派瑞特种气体股份有限公司，可以提供纯度达5N级别的大规模集成电路用四氟化硅。现阶段，国产电子级四氟化硅已经进入中芯国际、京东方等企业供应链，并向海外市场出口。
我国电子级四氟化硅行业产能还将扩大。威斯特（东营）特种气体有限公司规划建设“威斯特气体年产41吨电子新材料项目”，分两期建设，二期项目建设内容中包括电子级四氟化硅生产装置。
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