超纯氩气，通常是指纯度达到99.9999%（6N）级别及以上的超高纯度氩气，属于高纯电子气体。
氩气，化学式Ar，惰性气体、稀有气体，无色无味无毒，可在灯泡中、氩弧焊中、金属铸造过程中用作保护气，目的是防止金属氧化、延长灯丝寿命。在稀有气体中，氩气是空气中含量最高的气体。氩气通常可以采用空分法进行制备，高纯度的氩气是将工业氩气进行精馏提纯得到。
根据新思界产业研究中心发布的
《2025年中国超纯氩气市场专项调研及企业“十五五规划”建议报告》显示，超纯氩气可以用于半导体产业中，在半导体材料、半导体器件、超大规模集成电路等制造过程中能够发挥重要作用。超纯氩气可以隔绝空气中的氧气、水分、杂质等，营造无氧无尘环境，防止真空蒸发镀膜、化学气相沉积制膜时膜材被污染，防止半导体光刻、蚀刻等环节因杂质导致器件品质、良率下降，避免高温加工时电子元器件被氧化。
我国超纯氩气技术研究机构与企业主要有南京特种气体厂有限公司、中昊光明化工研究设计院有限公司、昆明物理研究所等。近年来，我国超纯氩气相关专利还在增多，例如江阴市金马气体有限公司的“一种超纯氩气生产系统及其方法”、华谊高新纯化技术（大连）有限公司的“一种氮气，氩气，氧气超纯纯化系统”等。
在海外市场中，超纯氩气布局企业主要有林德气体、液化空气、空气化工等。在我国市场中，超纯氩气布局企业主要有杭氧集团股份有限公司、广东华特气体股份有限公司等，例如杭氧集团股份有限公司可以提供纯度5N、6N级别的超高纯氩气产品。
2025年9月，滁州昶旭电子材料有限公司高纯电子气体新建项目环境影响报告书批前公示，其中包括新增超纯氩气40吨/年，规格≥99.9999%。2025年10月，安徽宏仁气体有限公司空分及高纯特种气体项目发布公示，项目建成后，将形成年产4050吨液氩、44.8万立方米超纯氩的生产规模。
新思界
行业分析人士表示，受人工智能、汽车产业发展推动，全球半导体市场持续增长。2024年，全球半导体市场规模超过6300亿美元，保持快速上升趋势，预计2025年，全球半导体市场规模同比增速将超过11%。而中国是全球最大的半导体市场，在此背景下，超纯氩气市场空间不断增大，行业发展前景广阔。
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