电子级三氟甲烷，是一种纯度大于99.999%，氧气、氮气、二氧化碳以及氟碳化合物等指标均需小于1ppm的化学物。
三氟甲烷也称为氟仿，是生产二氟一氯甲烷（HCFC-22）的副产物，化学式为CHF3，常温常压下为无色气体，溶于水、乙醇、丙酮。根据纯度和应用领域不同，三氟甲烷分为工业级三氟甲烷和电子级三氟甲烷。工业级三氟甲烷主要作为制冷剂、灭火剂、发泡剂等，在制冷、化工、消防等领域广泛应用。电子级三氟甲烷主要作为等离子蚀刻剂，用于半导体、平板显示器等制造中。
随着研究逐渐深入，我国相关电子级三氟甲烷生产工艺和装置专利数量不断增长，2020年来包括“电子级三氟甲烷的纯化装置及纯化工艺”、“一种电子级三氟甲烷的纯化方法”、“一种用于电子级三氟甲烷制备的吸附塔”、“用于电子级三氟甲烷制备的精馏控制系统及其控制方法”等。在此利好下，我国电子级三氟甲烷行业发展速度进一步加快。
根据新思界产业研究中心发布的
《2025-2029年全球及中国电子级三氟甲烷行业研究及十五五规划分析报告》显示，随着5G/6G、AI、物联网等技术发展，我国半导体行业呈现出快速增长趋势。2024年我国半导体市场规模约为1.55万亿元，2010-2024年期间其市场年复合增长率达18%。在此背景下，我国半导体行业对电子级三氟甲烷等相关电子化学品需求将持续旺盛。
全球电子级三氟甲烷生产企业包括关东电化工业株式会社、大阳日酸株式会社、Resonac、 SK Materials、福建德尔科技股份有限公司、默克（Merck）、阿科玛（Arkema）等。
福建德尔科技股份有限公司是国内唯一具备自主合成三氟甲烷并提纯至电子级能力的企业。2025年10月，福建省工业和信息化厅公布免染消费后再生锦纶6纤维（16.5dtex/7F FDY）等30款新材料新产品名单，其中福建德尔科技“电子级三氟甲烷（99.9999）”入选。
新思界
行业分析人士表示，电子级三氟甲烷作为蚀刻剂，在半导体领域应用空间较为广阔。随着我国半导体市场规模不断扩大，电子级三氟甲烷市场需求也将随之释放。相较于国外企业，我国电子级三氟甲烷行业生产水平较低，因而对外依存度较大。福建德尔科技持续加大研发力度，致力于突破“卡脖子”技术，成功批量生产电子级三氟甲烷。在领先企业持续发力下，我国电子级三氟甲烷国产化进程加快推进。
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