MEMS压阻式压力传感器，是利用半导体材料（如单晶硅）的压阻效应，通过压敏电阻互联形成惠斯通电桥将环境压力转换为电信号，从而实现对压力测量的仪器。根据压力敏感薄膜形状不同，MEMS压阻式压力传感器分为方形膜结构压力传感器和矩形膜结构压力传感器。
MEMS压力传感器是一种利用微机电系统技术制造的薄膜元件。根据结构和工作原理不同，MEMS压力传感器分为电容式、压阻式、谐振式、光纤式、压电式等。MEMS压阻式压力传感器具有尺寸小、可靠性高、精度高、响应速度快、频率效应好等优良特性，是MEMS压力传感器市场主流产品之一。
MEMS压阻式压力传感器综合性能优良，在航空航天、工业控制、环境监测、汽车、医疗设备、消费电子等领域广泛应用。在汽车领域，MEMS压阻式压力传感器可用于发动机控制系统、制动系统、安全气囊等中；在航空航天领域，MEMS压阻式压力传感器可用于火箭的空气动力学性能测试、航空器气压控制等场景；在医疗领域，MEMS压阻式压力传感器可用于血压检测、人工呼吸器控制、药物输送等场景。
根据新思界产业研究中心发布的
《中国MEMS压阻式压力传感器产业发展及“十五五规划”建议报告》显示，随着下游领域对压力测量仪器需求持续旺盛，MEMS压阻式压力传感器市场仍具有增长空间。2024年全球MEMS压阻式压力传感器市场规模约为100亿美元，预计2025-2030年期间其市场将以4.1%年复合增长率CAGR增长。
我国MEMS压阻式压力传感器市场生产企业包括山东中科思尔科技有限公司、无锡芯感智科技股份有限公司、长春长光圆辰微电子技术有限公司、苏州纳芯微电子股份有限公司、无锡中微晶园电子有限公司等。2025年12月，晶园公司150kPa、350kPa、500kPa、700kPa、1500kPa、2000kPa六档MEMS压阻式绝压压力传感器顺利实现规模化量产，量产良率持续保持在98%以上，为推动我国高性能传感器行业自主化发展提供有力支撑。
新思界
行业分析人士表示，MEMS压阻式压力传感器作为MEMS压力传感器行业细分产品，在众多领域广泛应用。受高技术壁垒和工艺要求影响，欧美日企业在全球MEMS压阻式压力传感器市场占据垄断地位。随着本土企业积极布局高精度MEMS压阻式压力传感器研发和生产，我国MEMS压阻式压力传感器产品与国外先进水平差距将进一步缩小，国产化进程有望加快。
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