氯硅烷是硅烷（SiH4）中的氢原子被氯原子取代后形成的一类化合物。电子级氯硅烷纯度通常达到99.999%以上，是半导体器件、集成电路制造过程中不可或缺的重要材料，具体包括电子级的三氯氢硅、四氯化硅、二氯二氢硅、六氯乙硅烷等。
随着研究不断深入，我国电子级氯硅烷相关发明专利数量持续增长，有利于产品纯度提升和行业生产水平提高，2020年来包括“一种同时生产电子级二氯二氢硅、电子级三氯氢硅及电子级四氯化硅的方法”、“一种从多晶硅尾气提纯电子级氯硅烷的系统”、“一种电子级六氯乙硅烷的合成及精制的方法”等。
根据新思界产业研究中心发布的
《2026-2030年全球及中国电子级氯硅烷行业研究及十五五规划分析报告》显示，在半导体制造、集成电路中，电子级氯硅烷作为关键硅源气体，主要用于多晶硅外延生长，以及化学气相沉积二氧化硅和氮化硅。随着半导体行业快速发展，电子级氯硅烷市场需求持续旺盛，市场规模不断扩大。2025年全球电子级氯硅烷市场规模约为272亿元，预计2026-2030年期间其市场将继续以5.5%年复合增长率增长。
我国电子级氯硅烷相关标准包括：国家标准《电子特气 六氯乙硅烷（GB/T 42720-2023）》、行业标准《电子级三氯氢硅的化学气相沉积评价方法（YS/T 1740-2025）》、团体标准《绿色设计产品评价技术规范 电子级氯硅烷（T/CNIA 0103—2021）》等。相关标准日益完善，为我国电子级氯硅烷行业规范化发展提供有力支撑。
我国电子级氯硅烷市场生产企业包括三孚股份、浙江新安化工集团、洛阳中硅、沁阳国顺硅源、浙江英德赛、北方特气（浙江）等。2025年，北方特气（浙江）科技有限公司“硅基新材料及第三代半导体材料一体化项目一期”公示，其中硅烷气系列包括10000吨/年电子级硅烷、1000吨/年电子级四氯化硅，1000吨/年电子级三氯化硅、500吨/年电子级二氯二氢硅等。
新思界
行业分析人士表示，随着生产工艺不断优化和装置升级，电子级氯硅烷产品纯度将进一步提升，进而推动半导体行业高质量发展。受技术水平限制，我国电子级氯硅烷市场长期依赖进口。随着本土企业加大技术研发力度并取得突破，我国电子级氯硅烷行业自主化生产水平不断提高。在相关企业加快产能布局驱动下，我国电子级氯硅烷行业产能规模持续扩大，更好满足半导体产业发展需求。
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