硅烷是一类由硅和氢组成的化合物，通式为SinH2n+2，包括甲硅烷（SiH4）、乙硅烷（Si2H6）、丙硅烷（Si3H8）、丁硅烷（Si4H10）和其他高级硅氢化合物，其中甲硅烷为市场主流产品，可简称为硅烷。电子级甲硅烷是一种电子特种气体，纯度6N级以上（99.9999%），微溶于水，易溶于有机溶剂，具有较强还原性。
电子级甲硅烷制备工艺包括过氯硅法（歧化法）、硅化镁法、氢化铝钠法（氟硅法）、氢化锂还原三氯氢硅等，其中氢化锂法已逐渐被淘汰，氢化铝钠法和氯硅法为主流工艺，硅化镁法具有生产系统紧凑、投资小等优点，适用于小规模生产。2025年9月，全椒亚格泰电子新材料科技有限公司、安徽亚格盛电子新材料股份有限公司取得一项“一种硅化镁法制备电子级甲硅烷的工艺”专利，该发明具有有效降低生产成本、实现氨气高效利用等优点。
根据新思界产业研究中心发布的
《2026-2030年全球及中国电子级甲硅烷行业研究及十五五规划分析报告》显示，电子级甲硅烷纯度高，主要用于薄膜太阳能电池、晶体硅太阳能电池、硅碳负极材料、集成电路、薄膜晶体管、液晶显示器等制造，在新能源、半导体、显示面板等领域应用价值大。随着下游行业快速发展，电子级甲硅烷作为一种电子特种气体，应用需求持续旺盛，市场具有显著增长空间。2025年全球电子级甲硅烷市场规模约为41.7亿元，预计2026-2030年期间全球市场将以8.5%年复合增长率增长。
电子级甲硅烷生产技术壁垒高，我国市场长期由少数国外企业垄断。随着本土企业攻克技术难关，成功实现规模化量产，我国电子级甲硅烷行业自主生产水平不断提升，国产替代进程加快推进。新安股份、兴泰硅材、浙江中宁硅业、内蒙古兴洋科技、成都泰竽工业气体等是我国电子级甲硅烷市场主要生产企业。2026年1月，新安股份旗下合资公司亚格新安“电子级甲硅烷及硅基特气项目”进入试生产阶段。
新思界
行业分析人士表示，电子级甲硅烷是特种气体行业中的“大宗气体”，下游应用较为广泛。在半导体行业规模不断扩大、固态电池商业化进程加快等驱动下，电子级甲硅烷市场需求具有广阔释放空间。随着技术成熟度提升、愈多企业进行产能布局，我国电子级甲硅烷行业产能规模将不断扩大，有效满足下游领域发展需求。
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