MEMS六维力传感器，指在三维空间中能同时测量三个方向的力和三个方向力矩的传感器。MEMS六维力传感器具备响应速度快、灵活性好、环境适应性强、功耗低等优势，在人形机器人制造过程中拥有巨大应用潜力。
近年来，我国企业及相关科研机构不断加大对于MEMS六维力传感器的研究，带动其相关专利数量持续增加，主要包括《一种基于极板距离变化测量的MEMS六维力传感器》、《一种基于MEMS原理的六维力传感器器件及其制备方法》、《一种基于MEMS工艺的硅压阻式六维力传感器及其制备方法》等。未来随着研究深入，我国MEMS六维力传感器技术水平将得到进一步提升。
MEMS，全称为微机电系统，具备体积小、使用寿命长、功耗低、轻量化等优势，在传感器制造过程中拥有广阔应用前景。受益于应用需求增长以及技术更新迭代速度加快，我国MEMS行业发展态势持续向好。目前，我国已建成多个大型MEMS传感器生产基地。在此背景下，MEMS六维力传感器行业景气度有望提升。
根据新思界产业研究中心发布的《
2026-2031年MEMS六维力传感器行业市场深度调研及投资前景预测分析报告》显示，MEMS六维力传感器在人形机器人制造过程中拥有巨大应用潜力。受益于国家政策支持以及技术进步，我国人形机器人行业发展态势持续向好。据国家工信部统计数据显示，2025年我国人形机器人整机企业数量超140家，发布人形机器人产品超330款。MEMS六维力传感器能有效提升人形机器人操作灵活性，未来随着下游行业发展速度加快，其应用需求将进一步增长。
受市场前景吸引，我国已有多家企业布局MEMS六维力传感器行业研发及生产赛道，主要包括苏州敏芯微电子技术股份有限公司、深圳安培龙科技股份有限公司、蓝点触控（北京）科技有限公司、宁波柯力传感科技股份有限公司等。敏芯股份专注于MEMS传感器的研发、生产及销售，其推出的MEMS六维力传感器已在具身智能领域获得应用。
新思界
行业分析人士表示，MEMS六维力传感器作为一种高性能传感器，应用前景较好。未来随着我国人形机器人行业发展速度加快，MEMS六维力传感器市场空间将得到进一步扩展。目前，我国MEMS六维力传感器研发热情持续高涨，未来伴随研究深入、技术进步，其行业发展态势将持续向好。
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